廣東省半導體產(chǎn)業(yè)技術研究院

我院介紹

  廣東省半導體產(chǎn)業(yè)技術研究院是直屬于廣東省科學院的23個骨干科研院所之一，是中國有色金屬學會寬禁帶半導體專業(yè)委員會的掛靠單位，擁有固態(tài)紫外光源工程技術研究中心、寬禁帶半導體材料與器件創(chuàng)新中心、車規(guī)級功率電子器件可靠性檢測與認證中心等多個省市級平臺。本院主要面向半導體照明創(chuàng)新應用、功率電子器件、新型顯示、先進封裝、機械視覺與人工智能等領域，聚焦半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展亟需的應用基礎研究和產(chǎn)業(yè)化應用技術研發(fā)，著力打造成為推動節(jié)能環(huán)保、信息技術領域創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展的樞紐型高端平臺。
       本院擁有5000平方米的研發(fā)基地（其中超凈實驗室800平方米），擁有MOCVD、真空鍍膜機等120多臺/套關鍵設備，設備總價值逾1億元。目前已建立材料外延、微納加工、封裝應用、分析測試四大科研平臺，是國內(nèi)少數(shù)擁有完整半導體工藝鏈的研究平臺之一，研發(fā)實力雄厚，每年為逾百家企業(yè)/高校/研究院提供半導體工藝技術服務。

平臺介紹

廣東省半導體產(chǎn)業(yè)技術研究院微納加工平臺，擁有半導體器件制備工藝研發(fā)所需的整套儀器設備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸。微納加工平臺面向國內(nèi)外科研機構和企業(yè)提供全方位的開放服務，我們將對半導體材料與器件的深入研發(fā)給予全方位支持，為廣大科研單位和企業(yè)提供高品質(zhì)服務。