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高真空蝶閥

高真空蝶閥是通過電磁換向閥改變氣路方向，控制執(zhí)行氣缸驅(qū)動蝶閥作啟閉運動。GIQ系列高真空蝶閥適用于高真空系統(tǒng)中用于接通或切斷真空管路中的氣流功能。適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體。氣動高真空蝶閥是用壓縮空氣為動力。通過氣動裝置改變氣路方向，執(zhí)行氣缸推動蝶閥作啟閉運動。氣動高真空蝶閥可選配反饋信號裝置及電氣閥門定位器。

按照介質(zhì)壓力真空閥門可分為

低真空閥門：真空度范圍為低真空105‍到10-2Pa（760~10托）

高真空閥門：真空度范圍為高真空105到10~10-4Pa（760~10-6托）

超高真空閥門：真空度范圍為超高真空10到10-7Pa（760~10-99

高真空蝶閥執(zhí)行標準

1．設(shè)計、制造按照就JB/T4079-1991標準執(zhí)行；
2．檢驗與試驗按照JB/T6446-1992標準執(zhí)行；
3．端法蘭尺寸符合JB919、GB/T6070標準執(zhí)行。

高真空蝶閥主要零件材料

閥體、閥蓋、閥桿：碳鋼或不銹鋼
密封圈：丁腈橡膠、氟橡膠。

高真空蝶閥主要技術(shù)性能

型號		GIQ-40	GIQ-50	GIQ-63	GIQ-80	GIQ-100	GIQ-150	GIQ-200	GIQ-250	GIQ-300	GIQ-400	GIQ-500	GIQ-600	GIQ-800
公稱通徑(DN)		40	50	63	80	100	150	200	250	300	400	500	600	800
適用范圍(Pa)		1.02×105 -6.7×10-4
介質(zhì)溫度(℃)		丁腈橡膠 -25℃～ 80℃；氟橡膠 -30℃～150℃
漏氣率(Pa.L/S)		≤6.7×10-4
電磁換向閥	電源(V/Hz)	220/50
	功率(W)	10
電源壓力(MPa)		0.4～0.6
法蘭標準		JB919 、GB6070
安裝位置		任意
流導(dǎo)(分子流)(L/S)		50	102	156	300	530	1328	2550	4180	7130	11000	17400	27400	45000

高真空蝶閥主要零件材料

閥體、蝶板：碳素鋼(鍍鎳)、不銹鋼
構(gòu)件：13Cr、不銹鋼
蝶板密封圈：丁腈橡膠、氟橡膠
填料：丁腈橡膠

高真空蝶閥

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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