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高純氧化鋁拋光液 |
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檢測項目 |
產(chǎn)品參數(shù) |
測試方法 |
晶相 |
α |
XRD |
二次粒D50(um) |
700-800 |
激光粒度儀 |
純度 |
99.99% |
ICP-OES |
PH值 |
13.5 |
PH測試儀 |
固含量 |
20% |
鹵素水分儀 |
產(chǎn)品優(yōu)點 |
1、具有較高的移除速率。 2、晶體表面低表面粗糙度。 3、水溶性濃縮液清洗簡便,不會形成玩固結(jié)晶。 4、不含硫、磷、氯等添加劑,不污染環(huán)境。 漿料懸浮性好,顆粒均勻,性質(zhì)穩(wěn)定 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 |
適用于藍(lán)寶石、砷化鎵、磷化銦、單晶硅等半導(dǎo)體材料及陶瓷基板等高端電子材料。
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