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    包郵 關(guān)注:355

    藍(lán)寶石爐銅電極

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備耗材-爐類設(shè)備耗材

    產(chǎn)品品牌

    誠(chéng)宇

    庫(kù)       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:誠(chéng)宇

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備耗材-爐類設(shè)備耗材

     藍(lán)寶石爐銅電極(走水電極、長(zhǎng)晶爐主導(dǎo)電體)

    是藍(lán)寶石長(zhǎng)晶真空爐的重要部件之一,是爐內(nèi)加熱熱場(chǎng)與爐外電源的連接通道;在爐內(nèi)與熱場(chǎng)(鳥籠)直接搭接,延伸到爐外的導(dǎo)電柱通過導(dǎo)電夾、軟連接與電源柜連接。

    該部件的結(jié)構(gòu)復(fù)雜,精度要求高,加工難度較大,主要體現(xiàn)在:

    1)導(dǎo)電柱與爐蓋的結(jié)合:

    導(dǎo)電電極是在藍(lán)寶石長(zhǎng)晶真空爐膛內(nèi),要穿過爐蓋與外部電源連接,所以電極4個(gè)導(dǎo)電柱之間的公差要求非常嚴(yán)格,要和爐蓋上的4個(gè)孔位距離完全一致。如有誤差將不能裝配。

    2)導(dǎo)電電極在加工過程中變形的問題:

    電極是純銅原料加工而成,從原材料到成品,要經(jīng)過很多道工序,每道工序都會(huì)產(chǎn)生應(yīng)力,故容易變形。尤其是在最后的焊接工序,因?yàn)楹附舆^程產(chǎn)生的熱量會(huì)使應(yīng)力釋放,工件很可能會(huì)嚴(yán)重變形,精加工的所有公差尺寸都會(huì)受到影響,且無法調(diào)整。

    3)電極冷卻水的走水密封:

    電極的截流能力遠(yuǎn)大于導(dǎo)電要求,故導(dǎo)電電極自身不會(huì)發(fā)熱,但真空長(zhǎng)晶爐內(nèi)雖有隔熱裝置還有較高的溫度傳導(dǎo)到電極。加熱熱場(chǎng)的電熱絲通過導(dǎo)電環(huán)會(huì)直接把熱量傳導(dǎo)到電極。所以電極必須要通水冷卻來保證電極的正常工作,真空長(zhǎng)晶爐是高溫高真空的工作環(huán)境才能有效長(zhǎng)出晶體。故對(duì)電極的主體與導(dǎo)電柱、走水槽封板、工藝孔堵頭部分的焊接有非常嚴(yán)格的要求。既不能因焊接降低導(dǎo)電率,又絕對(duì)不能有任何細(xì)微的滲漏,否則就達(dá)不到真空要求,長(zhǎng)不出晶體。

    我們通過與眾多科研單位的密切合作,參考多家國(guó)外公司先進(jìn)產(chǎn)品的成功經(jīng)驗(yàn),利用國(guó)內(nèi)外的先進(jìn)設(shè)備,攻破了各個(gè)環(huán)節(jié)上的技術(shù)難題,成功開發(fā)出了最新藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐專用無焊縫式銅電極減少了焊接帶來的形變及其走水通道的優(yōu)化,降低焊縫帶來漏水的風(fēng)險(xiǎn)。

    每件產(chǎn)品出廠必須通過正壓、負(fù)壓、導(dǎo)電率等各項(xiàng)指標(biāo)的嚴(yán)格檢驗(yàn)。多年來,通過多家藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐生產(chǎn)廠家使用,在業(yè)界獲得一致好評(píng)

     藍(lán)寶石爐無焊縫銅電極的加工工藝:
      ①開模冷軋藍(lán)寶石爐銅電極毛坯及水路;
         ②精加工藍(lán)寶石爐銅電極毛坯;
         ③加工中心加工藍(lán)寶石爐銅電極進(jìn)出水孔及各連接孔;

      ④藍(lán)寶石爐銅電極形位尺寸精加工;

     ⑤焊接藍(lán)寶石爐銅電極兩頭及電極桿;

         ⑥藍(lán)寶石爐銅電極漏水試驗(yàn);

      ⑦藍(lán)寶石爐銅電極表面鈍化處理;

      ⑧藍(lán)寶石爐銅電極二次漏水試驗(yàn);

         ⑨藍(lán)寶石爐銅電極合格成品木箱包裝出廠。

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