網站首頁

中|EN

當前位置: 首頁 » 耗材館 » 半導體加工設備耗材 » 鍍膜設備耗材 » 鍍源、靶材 »背板材料
    •
    包郵 關注:238

    背板材料

    庫       存：

    5000

    產       地：

    中國-湖南省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    客服電話：4001027270

    • 商品詳情
    • 商品參數(shù)
    • 評價詳情(0)
    • 裝箱清單
    • 售后保障
     背板的作用:
    •    在濺射過程中可支撐脆性靶材， 如陶瓷靶和軟金屬材料；
    •    在濺射過程中起到熱傳遞的作用。


    背板材料的選擇需考慮以下因素：

    •    背板材料和靶材的熱傳遞性；
    •    導電性；
    •    抗冷卻水壓的機械性能及熱循環(huán)效果；
    •    重復利用性
       

    我司可提供以下背板材料: 

       無氧銅背板

     無氧銅背板為使用最廣發(fā)的背板，其具有良好的導熱性和導電性，且易于加工。正常情況下銅背板可重復利用20次以上。

       鉬背板

    鉬背板適用于高溫綁定，然而銅背板在高溫下較易氧化或者變形。當銅背板與靶材的熱膨脹系數(shù)不匹配時，鉬背板可與一些熱膨脹系數(shù)小的靶材匹配。

        鋁背板

    鋁背板具有同樣的導熱性，并可與靶材的熱膨脹系數(shù)匹配，且適用于擴散焊綁定。

       不銹鋼背板

    不銹鋼背板通常適用于旋轉靶的背管，成本較低且可回收利用。

    此外，我司也可生產銅鋅合金背板和銅鉻合金背板，若有任何需求，歡迎前來咨詢。

    咨詢

    購買之前，如有問題，請向我們咨詢

    提問:
     

    應用于半導體行業(yè)的相關同類產品：

    服務熱線

    4001027270

    功能和特性

    價格和優(yōu)惠

    微信公眾號