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    包郵 關(guān)注:387

    等離子清洗機、刻蝕機、去膠機、活化機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    真空等離子清洗機

    產(chǎn)品品牌

    戈德爾guarder

    庫       存：

    1000

    產(chǎn)       地：

    中國-山東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥1000.00
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    品牌：戈德爾guarder

    型號：

    所屬系列：真空等離子清洗機

      產(chǎn)品特點 
       WB240等離子體清洗機采用專利高密度微波等離子技術(shù)，用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓的清潔和等離子體預(yù)處理，微波等離子體清洗具有高度活性、高效，且不會對電子裝置產(chǎn)生離子損害。 　 
    微波等離子清洗機主要用途： 
      ·等離子體表面改性
      ·有機物表面等離子體清潔
      ·邦定強度增強
      ·等離子體刻蝕應(yīng)用
      ·等離子體灰化應(yīng)用
      ·增強或減弱浸潤性
      ·其它等離子體系統(tǒng)應(yīng)用
    >> 技術(shù)參數(shù)
     ◆ 外形尺寸(不包括報警燈)
        1000(W)×800(D)×1750(H)mm
     ◆ 倉體結(jié)構(gòu)(石英，約20升)
        Φ 245mm ×400Lmm  
     ◆ 等離子發(fā)生器(德國)
        頻率2.45GHZ,功率0-1000W連續(xù)調(diào)節(jié),可連續(xù)長時間工作
     ◆ 控制系統(tǒng)
        觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式
     ◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動控制)
        英國愛德華斡旋式干泵 GV40
        美國MKS真空壓力控制節(jié)流閥及薄膜式傳感器      
        臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管 
     ◆ 充氣系統(tǒng)
        美國MKS高精度電子質(zhì)量流量計(2路氣體配制)
        美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥

        日本SMC及CKD高真空氣閥組件

     

    >> 相關(guān)應(yīng)用    

      - 晶圓光刻膠清洗  

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