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    包郵 關(guān)注:382

    等離子清洗機(jī)、活化機(jī)、灰化機(jī)、刻蝕機(jī)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    真空等離子清洗機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    戈德爾guarder

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥8888.00
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    品牌：戈德爾guarder

    型號：

    所屬系列：真空等離子清洗機(jī)

     

    詳細(xì)介紹

    >> 產(chǎn)品特點(diǎn)

     

     

     

       立式中型等離子清洗機(jī)，觸摸電腦+PLC多步流程全自動控制，全電路檢測，用于BGA、COB、CSP、LED封裝制程清洗有機(jī)物及氧化物，中批量生產(chǎn)機(jī)型。
    >> 技術(shù)參數(shù)
     ◆ 設(shè)備外形尺寸(不包括報警燈)
        650(W)×900(D)×1600(H)mm
     ◆ 倉體結(jié)構(gòu)(合金鋁，約100升)
        420(W)×420(D)×570(H)mm

     ◆ 放電電極

        9層鋁合金放電電極,陽極氧化處理

     ◆ 等離子發(fā)生器(美國MKS)
        頻率13.56MHZ,功率0-600W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配,全電路保護(hù),可連續(xù)長時間工作

     ◆ 控制系統(tǒng) 

        PLC觸摸屏控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有  手動、自動兩種模式

     ◆ 真空系統(tǒng)
        日本愛發(fā)科(ULVAC)機(jī)械真空泵 VDN901 (23L/S)

        臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英?？祲毫鞲衅?/span>

     

     ◆ 壓力控制

        PID閉環(huán)自動穩(wěn)壓控制

     

     ◆ 充氣系統(tǒng) 

       美國AE高精度電子質(zhì)量流量計(兩路氣體配制)、針閥
       美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥
       日本SMC及CKD高真空氣閥組件

     

    >> 相關(guān)應(yīng)用   

     

      - 光刻膠清洗 

      - 表面改性

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