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    包郵 關(guān)注:314

    Prep-2型 等離子清洗機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    真空等離子清洗機

    產(chǎn)品品牌

    Diener

    運費說明:

    包郵

    庫       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:Diener

    型號:

    所屬系列:真空等離子清洗機


    Prep-2型 等離子清洗機;
    * 真空艙體(等離子反應(yīng)艙): Φ100mm × L270 mm 水平 (2 升)
    * 艙體容量:約2升
    * 不銹鋼艙體  
    * 射頻發(fā)生器頻率 : 40KHZ,13.56MHZ, 2.45GHZ 可選
    * 高效針孔電極 
    * 銅氣體管、氣體流量計、針閥
    * 使用氣體流量計和針閥控制氣體
    * 自動計時器控制等離子處理過程 
    * 控制系統(tǒng):半/全自動控制 ,電腦控制,液晶觸摸屏控制
    * 功率連續(xù)可調(diào) 0-100W
    * 自動阻抗匹配
    * 自由設(shè)置參數(shù):處理時間、功率、氣體
    * 安全保護功能:真空觸發(fā)、艙門鎖
    * 電磁閥保護,回流油霧不能進入艙體
    * 外形尺寸:W345 mm×H220 mm× D420 mm
    * 電源:AC 220V/50Hz 
    * 真空泵:萊寶Leybold Type S1.5(1.5m3/h)
    選裝件* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器   * 2.45 GHz 射頻發(fā)生器  * 硅酸鹽艙體(外置環(huán)形電極)或石英艙體

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