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關(guān)注:474
ZX-1100SH全自動(dòng)半導(dǎo)體清洗設(shè)備
產(chǎn)品品牌
展諧
規(guī)格型號(hào):
訂制
發(fā)貨期限:
30天天
庫(kù) 存:
10
產(chǎn) 地:
中國(guó)
1、主要用于半導(dǎo)體晶圓2〞、3〞、4"、6"的除蠟和清洗;
2、清洗槽為雙層結(jié)構(gòu),外槽為SUS316,內(nèi)槽為石英槽GE214;
3、骨架材料不銹鋼,外包板和門板為德國(guó)進(jìn)口PP板,觀察窗為透明PVC;
4、外圍直接連接藥液供給設(shè)備、純水設(shè)備;
5、外槽有超聲波和內(nèi)槽有拋動(dòng)系統(tǒng),輔助設(shè)備清洗;
6、采用伺服電機(jī)、導(dǎo)軌、絲桿提升、橫移,運(yùn)行更穩(wěn)定,準(zhǔn)確;
7、輸送精準(zhǔn)≤0.3mm,溫控精度≤0.5℃;
8、裝有排氣系統(tǒng),確保環(huán)境條件;
9、PLC全程序控制及觸摸屏人機(jī)界面操作。
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