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PVA TePla 射頻等離子體設(shè)備/清洗機(jī)/去膠機(jī)

PVA TePla 公司的 IoN 40 射頻等離子體設(shè)備是為實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)領(lǐng)域設(shè)計(jì)的全功能的等離子體處理設(shè)備。該設(shè)備外觀簡(jiǎn)潔，系統(tǒng)高度集成化，可應(yīng)用與半導(dǎo)體、生物技術(shù)、電子、醫(yī)療、材料等各個(gè)領(lǐng)域。PVA TePla公司的高品質(zhì)、高性價(jià)比、操作簡(jiǎn)單的等離子體設(shè)備為各種不同應(yīng)用領(lǐng)域提供了最先進(jìn)的創(chuàng)新解決方案，得到用戶的廣泛信賴。

型號(hào)：
IoN 40 (M4L 升級(jí)版), IoN 40Q, IoN 10Q, IoN 7B, IoN 3B, IoN 100(WB)

典型應(yīng)用：

表面精密清潔

表面活化

提高表面粘合性

去除氧化層

去除光刻膠

改變表面親水性/疏水性

分子接枝

涂層

規(guī)格參數(shù)：

13.56MHz風(fēng)冷射頻電源（0～600w可調(diào)，可選0～300W）

高靈敏快速自動(dòng)匹配功能

陽(yáng)極表面處理鋁制腔體

內(nèi)部尺寸：229×330×483mm（36.5L）

水平抽卸極板/垂直極板/側(cè)壁極板/水冷極板/料盒電極/籠式電極

不銹鋼防腐蝕MFC

多至6路工藝氣體

2路驅(qū)動(dòng)氣體

快/慢回填氣體

PC工控機(jī)控制，運(yùn)行數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ)

觸控屏圖形化界面，運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示

外形尺寸：775×723×781 mm

可選配置：

法拉第桶

壓力控制系統(tǒng)

水冷系統(tǒng)

真空泵（旋片泵、干泵、渦旋泵）

認(rèn)證：

CE 認(rèn)證

EN 61010

EN 61326

Semi E95

USP Class VI

FDA CFR Title 21 Part 11

CISPR 55011

ISO 9001

NFPA79

NFPA70

PVA TePla 射頻等離子體清洗機(jī) IoN 40

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

產(chǎn)品品牌

規(guī)格型號(hào)：

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