裝箱清單
主要配置及技術(shù)指標(biāo):
l 電源:單相220V 50Hz,2KW
l 射頻源:國產(chǎn), f=13.56MHz 50~500W連續(xù)可調(diào),全自動匹配
l 氣體控制:氧氣和氮氣氣兩路,美國進口浮子流量計控制
l 真空獲得方式:2L機械泵
l 真空度:優(yōu)于-100KPa
l 氣體流量:0~5L/min
l 真空腔:石英腔。尺寸:¢200x300mm
l 產(chǎn)能:每次20片(2"-4")
l 觸摸屏+PLC控制
l 控制方式:自動/手動,自動模式下可實現(xiàn)一鍵完成整個工藝過程
l 整機采用松下plc和觸摸屏控制
反射自動匹配
l 最大負荷電流:10ARMS
l 最大負荷電壓:200VRMS
l 傳輸效率:>90%
l 匹配時間:3~5s
l 可匹配阻抗實部范圍:1~500Ω
l 可匹配阻抗虛部范圍:-j200~+j200
l 主電容:空氣電容