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    擴(kuò)散爐(微控)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-管式爐

    產(chǎn)品品牌

    賽爾微

    庫       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:賽爾微

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-管式爐

     微控?cái)U(kuò)散爐應(yīng)用:應(yīng)用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池等領(lǐng)域,適用2~8英寸工藝尺寸

    產(chǎn)品特點(diǎn): 
    主機(jī)為水平一至四管爐系統(tǒng)構(gòu)架,能獨(dú)立完成不同的工藝或相同工藝 
    工業(yè)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門等動作進(jìn)行全自動控制 
    采用懸臂式送片:操作方便、無摩擦污染等 
    關(guān)鍵部件采用進(jìn)口器件,確保設(shè)備的高可靠性 
    工藝管路采用進(jìn)口閥門管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無污染(管路均采用EP級電拋光管路),氣體流量采用質(zhì)量流量計(jì)(MFC)控制 
    控溫精度高,溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好; 
    具有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能 
    高質(zhì)量的加熱爐體,確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長壽命

     

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