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產(chǎn)品概述

激光器發(fā)出激光通過孔徑光闌、衰減器及電動(dòng)快門后，進(jìn)入顯微鏡的激光入口，通過反光鏡反射后，進(jìn)入物鏡到達(dá)待加工樣品的表面。在加工的同時(shí)，反射光或補(bǔ)充照明光進(jìn)入目鏡通過成像光路在CCD（即數(shù)碼攝像機(jī)）芯片上成像，進(jìn)行實(shí)時(shí)在線觀測(cè)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1.采用開放式支架可與第三方高精度精密平臺(tái)配合使用，此為其他類型的金相顯微鏡無法實(shí)現(xiàn)；
2.配備大范圍升降裝置，可用于大工件監(jiān)測(cè)加工。

產(chǎn)品配置

一、海德星XYZ平臺(tái)

1、XYZ高精度三維平臺(tái)
行程：100mm*100mm*50mm，XY軸負(fù)載：20kg，Z軸負(fù)載：1kg。

1）行程：100mm*100mm*50mm；
2）最大速度：50mm/s；
3）最小速度：1μm/s；
4）最小步進(jìn)：10nm；
5）最大承重：10kg；
6）重復(fù)定位精度：10nm；
7）加工材料：金屬材料（如：硅，銅，鋁等）；
8）加工形狀：圓形、方形等；
9）平移臺(tái)有可編程接口，便于編程控制三軸的移動(dòng)路徑。

二、蔡司顯微鏡SCOPE A1 + CCD：

1、物鏡：
    反射光高反差明暗場(chǎng)物鏡：
    EC Epiplan 5X/0.3HD M27(WD=11.8mm);
    EC Epiplan 10X/0.25HD M27(WD=11.0mm);
    EC Epiplan 20X/0.4HD M27(WD=3.2mm);
    EC Epiplan 40X/0.6HD M27(WD=2.2mm);
    EC Epiplan 100X/0.85HD M27(WD=0.87mm);
2、目鏡：
    PL 10X/23Br.foc.
3、CCD相機(jī)：
    AxioCam 105 彩色CCD
4、附件：
    鹵素?zé)?12V100W
    白平衡片：d=25x1.5mm
    CCD接口：60N-C 2/3’’ 0.5X
    目鏡測(cè)微尺：10：100 d=26mm

三、激光照明器

應(yīng)用領(lǐng)域

1.適用于切割各種材料的激光加工；
2.適用于加工過程的實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)；
3.可作為普通的金相顯微鏡使用。

顯微鏡飛秒激光加工系統(tǒng)

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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