Universal-300 Plus 新型12英寸CMP設(shè)備 天津華海清科機(jī)電
Universal-300 Plus是根據(jù)市場需求變化、擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新型12英寸CMP設(shè)備， 采用Universal-300機(jī)型的成熟技術(shù),集成多種終點(diǎn)檢測技術(shù)，具備技術(shù)水平高、產(chǎn)量高、性能穩(wěn)定、多單元、多工藝靈活組合等優(yōu)點(diǎn)，可以極大地滿足不同客戶的工藝需求，具有極強(qiáng)的市場競爭力。
Universal-300 Plus設(shè)備優(yōu)勢：
1.使用全自動(dòng)化“干進(jìn)干出”模式；
2.模塊化拋光單元?jiǎng)?chuàng)新設(shè)計(jì)；
3.各個(gè)模塊具有獨(dú)立的控制系統(tǒng)；
4.拋光工藝參數(shù)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)采集和存儲(chǔ)；
5.多種終點(diǎn)控制系統(tǒng)；
6.中芯國際產(chǎn)品線量產(chǎn)。
天津華海清科機(jī)電科技有限公司成立于2013年，是天津市政府與清華大學(xué)踐行“京津冀一體化”國家戰(zhàn)略，為推動(dòng)我國化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）技術(shù)和設(shè)備產(chǎn)業(yè)化成立的高科技企業(yè)。
華海清科主要從事CMP設(shè)備和工藝及配套耗材的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)，核心團(tuán)隊(duì)成員來自清華大學(xué)及業(yè)內(nèi)專業(yè)人才，擁有CMP技術(shù)專利100余項(xiàng)，產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于極大規(guī)模集成電路制造、三維封裝、微機(jī)電系統(tǒng)制造、晶圓平坦化、基片制造等領(lǐng)域。
華海清科依靠國際化的經(jīng)營理念和人才團(tuán)隊(duì)、先進(jìn)的工藝試驗(yàn)條件，致力于為相關(guān)領(lǐng)域的企業(yè)、高校和科研院所提供先進(jìn)的CMP設(shè)備及工藝的集成解決方案。并遵循“科技服務(wù)社會(huì)”的公司宗旨，持續(xù)進(jìn)行以優(yōu)良的品質(zhì)和卓越的服務(wù)贏得國內(nèi)外用戶的信賴
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