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氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）利用溫差量熱法原理，可對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。用這種方法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力影響。 本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件和命名方法。 MFC出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。 質(zhì)量流量的單位規(guī)定為：SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)，SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分) 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度---273.15 K（0℃），氣壓—-101325 Pa（760mm Hg） F.S.（Full Scale）：滿量程值
本產(chǎn)品具有穩(wěn)定可靠、響應(yīng)時(shí)間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高等優(yōu)點(diǎn)，安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器（AD/DA轉(zhuǎn)換器）配合計(jì)算機(jī)使用。
0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0～1,2,3,5,10,20,30 SLM
注：滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格，可以在5SCCM～30SLM范圍內(nèi)任選，例如123SCCM。
0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)
化學(xué)工業(yè)、石化工業(yè)、LNG工業(yè)、半導(dǎo)體材料和微電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、特種材料研究、環(huán)保和真空行業(yè)等。使用本產(chǎn)品的設(shè)備主要有：真空鍍膜設(shè)備、混氣配氣設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、晶體制備設(shè)備、微電子設(shè)備、微反應(yīng)裝置、氣相色譜儀及其它分析儀器等。
我公司承諾對產(chǎn)品的質(zhì)保期為叁年。在您收貨后叁年以內(nèi)，如果按照說明書要求使用，遵守安全注意事項(xiàng)，并且產(chǎn)品沒有被損毀、改裝或翻新，若有任何故障和問題，我公司負(fù)責(zé)免費(fèi)維修或更換新品。 在保修期外，我們提供終身維修和維護(hù)服務(wù)，但適當(dāng)收取維修和維護(hù)的成本費(fèi)。維修和維護(hù)后，維修部分的質(zhì)保期為壹年。 我公司有專業(yè)的售后工程師可以幫助您解決關(guān)于安裝和使用等各方面的問題，并且提供產(chǎn)品的使用培訓(xùn)。
| 型號(hào) | SQC-100 |
|---|---|
| 流量量程(N2) | 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
| 0~1,2,3,5,10,15,20,30SLM | |
| 精度 | ±1%F.S.(≤15SLM);±2%F.S.(>15SLM) |
| 控制閥動(dòng)作型式 | 常閉式 |
| 線性 | ±1%F.S.(≤15SLM);±2%F.S.(>15SLM) |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤1sec |
| 輸入輸出信號(hào) | 0~5V |
| 電氣接頭 | DB15 pin(針形) |
| 工作環(huán)境溫度 | 5~45℃ |
| 工作壓差 | 0.05~0.5MPa(MFC);0.03~3.0MPa(MFM) |
| 漏率 | 1*10-8SCCS(He) |
| 最大耐壓 | 3MPa |
| 介質(zhì)接觸材質(zhì) | 316不銹鋼和密封材料 |
| 密封材料 | 氟橡膠,硅橡膠,丁腈橡膠,聚四氟乙烯,金屬密封 |
| 接頭尺寸 | VCR 1/4";Swagelok 1/8";1/4";φ3,φ6mm |
| 電源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA |
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