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    包郵 關(guān)注:3956

    CMP拋光系統(tǒng)

    規(guī)格型號:

    IB400

    發(fā)貨期限:

    4個(gè)月天

    庫       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    德國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    詳細(xì)描述:

    1.加工樣品尺寸4英寸及以下尺寸樣品

    2.可磨拋樣品數(shù)量設(shè)備具有1個(gè)工位,最大可以加工4英寸樣品.
    3.可加工樣品種類Si,SiC, GaAs, InP,CZT, MCT等多種半導(dǎo)體材料
    4.整機(jī)防腐蝕,適用CMP應(yīng)用設(shè)備主機(jī)及所有零部件耐腐蝕,適用CMP應(yīng)用
    5.設(shè)備工作時(shí)間,磨拋盤轉(zhuǎn)速,樣品固定系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)速及擺幅等參數(shù)采用精確數(shù)控,所有參數(shù)具有數(shù)據(jù)存儲(chǔ)及記憶功能。所有控制系統(tǒng)部件上置于磨拋工作區(qū)域,以避免磨拋工作過程中磨拋廢料滲漏腐蝕操控系統(tǒng)。

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    服務(wù)熱線

    4001027270

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