除氣

要將規(guī)管放氣減少到可以忽略的程度，必須執(zhí)行除氣操作。玻璃規(guī)管要達到最低壓力點需要在400攝氏度下烘烤一小時。

電極除氣要在烘烤后再進行900攝氏度的高溫加熱約15分鐘。

電極加熱可以通過電子轟擊（EB）或通過柵級加低壓大電流（I2R）的方式來實現(xiàn)。通常，規(guī)管都裝有組合柵極，即鼠籠狀柵極與多個相交元件焊接在一起，這時柵極除氣僅通過電子轟擊方式實現(xiàn)。收集極也可以僅通過電子轟擊方式來除氣。柵極包括單螺旋結(jié)構(gòu)和雙螺旋結(jié)構(gòu)，螺旋結(jié)構(gòu)的兩端都有外部連接，可以通過大電流方式除氣。所有帶螺旋柵極的規(guī)管也可以通過電子轟擊方式進行除氣。

274022，274023，274041和274042規(guī)管使用的是鼠籠是柵極，所以必須使用電子轟擊除氣方式。為了使裸規(guī)更試用于I2R除氣方式，我們研發(fā)了2740028和274043規(guī)管。

漏電

壓力測量精度取決于毫安表可以測量的電流有多低，同時也受漏電影響。漏電路徑分為內(nèi)部和外部。

內(nèi)部和外部漏電在BA規(guī)的設計中就將其控制在最低可能值。規(guī)管收集終端在柵極端蓋和陰極終端的相反端。

在底部或頭部引出收集極接腳的設計比焊接管腳的設計更容易引起漏電問題。

內(nèi)部漏電通常是由于鎢或是氧氣釷從陰極上蒸發(fā)出來造成的。

抽氣作用

電離規(guī)會表現(xiàn)出一定的抽氣作用。這主要是用于化學清除和電清除機理。通常，化學清除是用于各種清潔表面都有吸氣作用。當表面趨于飽和，這種抽氣作用就會減弱并達到穩(wěn)定狀態(tài)。在化學清除過程中，常規(guī)玻璃管規(guī)的讀數(shù)會比正常值低百分之二十到五十。在1*10-9torr下抽氣作用可能會持續(xù)四個小時之久。在1*10-9torr下大約要3個月后電子或離子除氣才會飽和。最常用的抽氣作用消除方式就是在規(guī)管和真空系統(tǒng)之間布置大通導連接。

在規(guī)管中的第三種抽氣機理是與熱陰極的化學反應。很多氣體諸如氧，氮，水蒸氣，及氫都會與鎢中的碳發(fā)生反應。這些反應的比例取決于系統(tǒng)溫度，并且如果選用了大通導連接則測量誤差是非常低的甚至可以避免。然而，如果是在小系統(tǒng)中則這種氣體成分的改變會比較明顯。

許多中應對抽氣作用的規(guī)管結(jié)構(gòu)可以選擇。

玻璃規(guī)管帶3/4英寸接管的結(jié)構(gòu)，例如274002，就有足夠的通導可以使用至10-8torr范圍。如果規(guī)管要用于10-10torr范圍的測量則可選1英寸接管（274015）.為了補償高速電清除作用，所有內(nèi)部屏蔽的規(guī)管都應配置1英寸接管。

相對于劇烈的電離規(guī)抽氣問題裸規(guī)是最佳選擇。緣于裸規(guī)的外形，規(guī)管元件可以直接置于真空腔體內(nèi)，因此消除規(guī)管相關(guān)的壓差問題。相對規(guī)管來說，裸規(guī)的系統(tǒng)響應時間也大大減少。

分類

玻離管規(guī)

特點：非松陷的雙絲柵極

         耐燒型陰極或雙鎢絲陰極

         接管-3/4英寸或1英寸直徑，可伐，耐熱玻璃或法蘭可選

         聶耳除氣或電子轟擊除氣

         配有標準電氣接頭

電子轟擊除氣方式的電離裸規(guī)

特點：籠狀柵極

         耐燒型陰極或雙鎢絲陰極

         電子轟擊除氣

         配有標準法蘭連接

         可更換陰極組件

焦耳除氣或電子轟擊除氣方式的電離裸規(guī)

特點：

        非松陷的雙絲柵極

        耐燒陰極

        聶耳除氣或電子轟擊除氣

        配有標準電氣接頭

        可更換陰極組件

特性
物理數(shù)據(jù)	玻璃管規(guī)	電子轟擊除氣方式的裸規(guī)	聶耳除氣方式的裸規(guī)
接管	3/4 in.（19mm）或1 in.(25mm)直徑.*2 1/4 in.(57mm)長，可伐，耐熱玻璃或法蘭	不適用	不適用
外殼	None*7720玻璃，2 1/4 in.（57m）直徑.5in.(127mm)長	裸規(guī)，外徑2  3/4英寸 CF法蘭	裸規(guī)，外徑2 3/4英寸 CF法蘭
安裝方向	任意方向，垂直優(yōu)先	任意方向	任意方向
收集極	鎢絲，直徑0.010英寸	鎢絲，直徑0.005英寸	鎢絲，直徑0.010英寸
陰極	雙鎢絲或單根渡氧化釷的銥絲	雙鎢絲或雙鍍氧化釷的銥絲，可更換組件	鍍氧化釷的銥絲，可更換組件
柵極	難熔金屬	難熔金屬	難熔金屬
全長	6 in.(152mm)	4 1/8 in.(105mm)	4 1/8 in.(105mm)
插入長度	不適用	3 in.(76mm)	3in.(76mm)
操作數(shù)據(jù)
對氮氣靈敏度	10/TORR	25/TORR	10/TORR
常規(guī)精度	±20%	±20%	±20%
X射線極限	約3*10-10 Torr	約2*10-11 Torr	約4*10-10Torr
電子轟擊除氣	最大100w	最大40w	最大100w通常70w
電阻加熱除氣	10A時，6.3到7.5Vac	不適用	10A時，6.3到7.5Vac
烘烤	450攝氏度	450攝氏度	正在載入交易記錄... 裝箱清單 Bayard-Alpert Gauge（玻璃規(guī)或裸規(guī)）   1只 使用說明書    1份 海綿包裝盒    1個 售后保障  規(guī)管無質(zhì)保，保證原裝正品 應用于半導體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品： Thyracont VSP63MV Pirani Vacuum Gauge 面議 Pfeiffer普發(fā) IKR251真空計 面議 MDC Vacuum Nude Ionization Gauge 面議 MKS真空計 925皮拉尼真空計 面議 Granville-phillips 275 Mini-Convectron Gauge 面議 Granville-Phillips 274 Bayard-Alpert Type Ionization Gauge 面議 Adixen Alcatel AP2004 Pirani Gauge 面議 Ulvac愛發(fā)科 SW1真空計 面議 Kurt J. Lesker 275 Convection Pirani vacuum gauge sensor 面議 Teledyne Hastings DV-6M Thermocouple Gauge 面議 G75PT G75P G75KT G75K Fil-tech離子規(guī) 真空計 面議 美國Instrutech CVM211GBA真空計 面議 DV-6M-KF-16 DV-6M-KF-25便攜式熱偶規(guī) 真空計 KF法蘭接口 面議 Applied Materials應用材料設備真空計 3310-01012熱偶規(guī) 面議 用于模擬或數(shù)字壓力測量的真空計 普發(fā)真空 ￥1.00 Duniway I-75-K Glass Ion Gauge Tube 面議 G100KC G100PT G100KT G100KF G100P Fil-tech離子規(guī) 面議 DV-4D DV-4R DV-4D-VCR Teledyne Hastings 真空計 熱偶規(guī) 面議 275203 , 275196 Granville Phillips真空規(guī)管，真空測量計 面議 關(guān)于我們 | 購物指南 | 營業(yè)執(zhí)照 | 幫助中心 | 友情鏈接 | 聯(lián)系我們 Copyright? 半導體商城 2015-2022，All Rights Reserved 京公網(wǎng)安備 11010602104391號 京ICP備15002921號??      服務熱線 4001027270 功能和特性 價格和優(yōu)惠 微信公眾號