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    電子行業(yè)-波束致、氣相沉積發(fā)熱體、電子槍、陰極等導鉬元器件

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    1000

    產       地:

    全國

    數       量:

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         半導體離子注入技術是一種材料表面改性高新技術,在半導體材料摻雜,金屬、陶瓷、高分子聚合物等的表面改性上獲得了極為廣泛的應用,在當代制造大規(guī)模集成電路中是一種必不可少的手段。
     
          離子注入的優(yōu)點是能精確控制雜質的總劑量、深度分布和面均勻性,而且是低溫工藝(可防止原來雜質的再擴散等),同時可實現自對準技術(以減小電容效應)。




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