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    CXS系列旋轉沖洗甩干機

    應用于半導體行業(yè):

    半導體清洗設備-甩干機-多片甩干機

    庫       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體清洗設備-甩干機-多片甩干機

    CXS系列旋轉沖洗甩干機主要用于硅圓片、光刻版等類似材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝,適用于2-12英寸晶圓,LXS系列旋轉沖洗甩干機主要用于材料加工、太陽能電池片、分立器件等行業(yè)、單臺產(chǎn)量大、效率高。

    采用高性能可編程控制器實現(xiàn)邏輯控制

    采用彩色液晶漢顯監(jiān)控,可存儲百種用戶工藝菜單

    結構采用潔凈化處理技術

    去離子水電阻率監(jiān)控

    防靜電控制

    氮氣溫度控制

    腔體溫度控制

    轉軸氮氣密封

    無刷電機驅動

    旋轉載體定位

    故障診斷,顯示及報警

    CXS系列型號說明

    CXS系列型號特征與設備性能、功能的對應關系


        




     



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