腐蝕機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝中對(duì)硅片周邊進(jìn)行濕法化學(xué)腐蝕形成均勻一致的斜角,本設(shè)備技術(shù)先進(jìn),適用于規(guī)模生產(chǎn)。本設(shè)備是由電氣控制、機(jī)架、箱體、槽體、管路、等部分組成。槽體是由去離子水洗槽、有機(jī)溶劑槽、酸槽、堿槽構(gòu)成。硅片腐蝕機(jī)管路部分為保證工作介質(zhì)的潔凈和避免雜質(zhì)析出,特采用進(jìn)口氣動(dòng)閥、PFA、PVDF、管道,全氟循環(huán)系統(tǒng)。除裝片和取片外,其余工藝均可自動(dòng)完成。電控部分:人機(jī)界面為觸摸屏,方便美觀。