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非接觸式測(cè)厚儀

具體設(shè)備詳情請(qǐng)咨詢(xún)專(zhuān)業(yè)銷(xiāo)售： 400-6988-696

非接觸式測(cè)厚儀介紹：

是一款高性能高精密的測(cè)量?jī)x器，可以不接觸樣品表面進(jìn)行厚度測(cè)量。這種方式可以避免接觸測(cè)量引起的表面損傷，特別適用于軟脆材料及對(duì)樣品表面質(zhì)量高要求的測(cè)量.該儀器能非常理想的用于半導(dǎo)體、光學(xué)及電光材料厚度的測(cè)量應(yīng)用。

功能：

在線實(shí)時(shí)測(cè)量監(jiān)控、數(shù)字顯示。

設(shè)備原理：

采用無(wú)污染氣脈沖測(cè)量法，通過(guò)氣脈沖，在晶圓表面形成均勻氣膜，對(duì)被測(cè)物進(jìn)行非接觸、無(wú)損傷厚度測(cè)量，采樣速度快精度高，性能穩(wěn)定，操作簡(jiǎn)單。

技術(shù)參數(shù)：

測(cè)量臂帶細(xì)調(diào)功能

測(cè)量范圍:0-180毫米

厚度范圍0～500mm（或可按要求設(shè)定范圍）

樣品尺寸：8英寸及以下尺寸

讀數(shù)精度：0.1um

測(cè)量精度：1um

適用范圍：

適用于半導(dǎo)體材料的測(cè)量，如：磷化銦、碲鋅鎘、砷化鎵、藍(lán)寶石、硅片等，其他材料：陶瓷片、薄膜、高度拋光表面樣件等。

非接觸式測(cè)厚儀

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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