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    表面形貌測(cè)試設(shè)備

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-表面形貌測(cè)試

    規(guī)格型號(hào):

    8寸樣品

    發(fā)貨期限:

    一個(gè)月天

    庫       存:

    500

    產(chǎn)       地:

    德國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    100000.00
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    品牌:

    型號(hào):8寸樣品

    所屬系列:半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-表面形貌測(cè)試

    機(jī)械探針式測(cè)量方法[1-3]是開發(fā)較早、研究最充分的一種表面輪廓測(cè)量方法。它利用機(jī)械探針接觸被測(cè)表面,當(dāng)探針沿被測(cè)表面移動(dòng)時(shí),被測(cè)表面的微觀凹凸不平使探針上下移動(dòng),其移動(dòng)量由與探針組合在一起的位移傳感器測(cè)量,所測(cè)數(shù)據(jù)經(jīng)適當(dāng)?shù)奶幚砭偷玫搅吮粶y(cè)表面的輪廓。    探針式輪廓儀是高精度的表面輪廓測(cè)量?jī)x器,深度測(cè)量精度可達(dá)到0.1~0.2nm;縱向分辨率取決于與之配套的位移傳感器,一般可達(dá)到0.1 nm的量級(jí);橫向分辨率與針尖半徑有關(guān),同時(shí)還與被測(cè)表面的具體形狀有關(guān),一般可達(dá)到0.05μm~0.25μm。

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