機(jī)械探針式測(cè)量方法[1-3]是開(kāi)發(fā)較早、研究最充分的一種表面輪廓測(cè)量方法。它利用機(jī)械探針接觸被測(cè)表面,當(dāng)探針沿被測(cè)表面移動(dòng)時(shí),被測(cè)表面的微觀凹凸不平使探針上下移動(dòng),其移動(dòng)量由與探針組合在一起的位移傳感器測(cè)量,所測(cè)數(shù)據(jù)經(jīng)適當(dāng)?shù)奶幚砭偷玫搅吮粶y(cè)表面的輪廓。 探針式輪廓儀是高精度的表面輪廓測(cè)量?jī)x器,深度測(cè)量精度可達(dá)到0.1~0.2nm;縱向分辨率取決于與之配套的位移傳感器,一般可達(dá)到0.1 nm的量級(jí);橫向分辨率與針尖半徑有關(guān),同時(shí)還與被測(cè)表面的具體形狀有關(guān),一般可達(dá)到0.05μm~0.25μm。