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SuperView W1三維輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SuperView W1三維輪廓儀功能：

1) 一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進行切換界面，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能。

2) 測量中提供自動多區(qū)域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調(diào)亮度等自動化功能。

3) 測量中提供拼接測量功能。

4) 分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

6) 分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設(shè)置分析模板，結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

型號			W1	W1-Pro
光源			白光LED
影像系統(tǒng)			1024×1024
干涉物鏡			10×（2.5×，5×， 20×，50×，100×可選）
光學(xué)ZOOM			0.5×（0.75×，1×可選）
標準視場			0.98×0.98㎜
最大視場			6×6㎜
物鏡塔臺			3孔手動（5孔電動可選）
XY位移平臺	尺寸		320×200㎜	300×300mm
	移動范圍		140×100㎜	200×200mm
	負載		10kg
	控制方式		電動
水平調(diào)整			±4.5°手動
Z軸聚焦	行程		100㎜
	控制方式		電動
Z向掃描范圍			10 ㎜
Z向分辨率			0.1nm
可測樣品反射率			0.05%~100%
粗糙度RMS重復(fù)性			0.005nm
臺階測量		準確度	0.7%
		重復(fù)性	0.1% 1σ
儀器尺寸			900×700×604㎜	900×700×1500㎜
儀器主機重量			＜150㎏	＜160㎏
使用環(huán)境要求			無強磁場，無腐蝕氣體工作溫度：15℃ ~30℃，溫度梯度 < 1℃/15分鐘相對濕度：5%-95%RH，無凝露環(huán)境振動：VC-C或更優(yōu)

國產(chǎn)高性能三維輪廓儀

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