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高溫?zé)o氧化烤箱，半導(dǎo)體制程烤箱簡(jiǎn)介：

高溫?zé)o氧化烤箱，半導(dǎo)體制程烤箱用于PI、BCB膠高溫固化烘烤。整個(gè)箱體結(jié)構(gòu)分為：膛體組件、箱架組件和熱風(fēng)組件三個(gè)部分，膛體腔，內(nèi)表面全鏡面設(shè)計(jì)，風(fēng)道由左、右、后導(dǎo)風(fēng)板與箱體內(nèi)壁組合而成，膛體頂部有排風(fēng)管道。
高溫?zé)o氧化烤箱，半導(dǎo)體制程烤箱技術(shù)參數(shù)：
1. 最高溫度：450℃；可自定義
2. 工作室尺寸：450×650×450mm（W×H×D）；可自定義
3. 箱體數(shù)量:一個(gè)；可自定義兩箱、四箱
4. 腔體材料：SUS304鏡面不銹鋼；
5. 加熱元件：不銹鋼加熱器；
6. 熱電偶：國(guó)產(chǎn)，K分度；
7. 空箱升溫時(shí)間：每分鐘5度，全程平均；
8. 空箱降溫時(shí)間：300℃-90℃降溫時(shí)間為1.5小時(shí)左右(采用鼓風(fēng)冷翅片散熱器或氣體)；
9. 記錄儀:溫度和氧含量無(wú)紙記錄儀；
10. 氧含量-氧分析儀：
高溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量
低溫狀態(tài)氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量
11. 溫度波動(dòng)度：±1℃；
12. 溫度均勻度：±5%（300℃平臺(tái)）；
高溫?zé)o氧化烤箱，半導(dǎo)體制程烤箱基本配置：
1. 控制：每個(gè)箱體單獨(dú)控溫、通氣、報(bào)警保護(hù)；
2. 排風(fēng)口：一個(gè)；
3. 控溫儀表：日本理化FP23溫控儀；
4. 控溫段數(shù)：20×20段；
5. 控溫點(diǎn)數(shù)：一點(diǎn)；
6. 超溫報(bào)警點(diǎn)數(shù)：一點(diǎn)；
7. 檢測(cè)點(diǎn)數(shù)：三點(diǎn)；
8. 高溫開(kāi)爐門保護(hù)：當(dāng)溫度超過(guò)100℃，電子鎖自動(dòng)鎖緊，防止高溫開(kāi)門
9. 報(bào)警保護(hù)：超溫、斷偶等聲光報(bào)警保護(hù)；
10. 超溫保護(hù)：獨(dú)立感溫式超溫保護(hù)器；
11. 電機(jī)保護(hù)：電機(jī)過(guò)電流、過(guò)熱保護(hù)；
12. 表面溫升：＜30℃；
13. 加熱功率：15kW；
14. 保溫功率： ≤9kW；
15. 電源：容量大于80KVA，3相5線，220/380VAC，50Hz；

高溫?zé)o氧化烤箱，半導(dǎo)體制程烤箱

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