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    干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab 深圳市利方達(dá)科技有限公司

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體測試設(shè)備-氣體監(jiān)控測試類-檢漏儀

    產(chǎn)品品牌

    INFICON

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-廣東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥10000.00
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    干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab 深圳市利方達(dá)科技有限公司 設(shè)備商城

    • 品牌   INFICON
    • 型號   UL1000 Fab
    • 描述

      檢漏低達(dá) 10 -12 atm/css...

    產(chǎn)品介紹

    功能

    • 15 級的寬測量范圍
    • 較短的抽氣和響應(yīng)時間
    • 移動式全金屬外殼，增加了便利性，具有絕對可操作性
    • I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供最快的泄漏響應(yīng)時間
    • 抑零功能和自動積分時間校正，可提供快速、可靠的測試結(jié)果
    • 含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計，提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
    • 旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進(jìn)行交互
    • 自保護(hù)功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
    • 自動吹掃循環(huán)可確保清理并隨時可進(jìn)行測試
    • 通過電子郵件進(jìn)行軟件更新
    • 含兩個燈絲離子源（3 年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運(yùn)行時間和較低的維護(hù)成本
    • 內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置測試漏孔確保了精確的測試結(jié)果

    典型應(yīng)用

    • 對半導(dǎo)體加工工具執(zhí)行維護(hù)作業(yè)，無論是否具有自有泵支持
    • 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用
    • 在現(xiàn)有工具中安裝前對部件執(zhí)行檢漏
    • 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
    • 內(nèi)置軟件菜單“自動測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執(zhí)行密封組件的自動測試

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