勻膠機（Spin Coater）KW-4A

KW—4A型勻膠機適用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學及表面涂覆等工藝，主要應(yīng)用于溶膠-凝膠（sol-gel）實驗中的薄膜制作，其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學之用。

★ 本機具有以下特點：

1．電機勵磁和電樞分開供電。勵磁用12伏直流穩(wěn)壓電源供電，電樞用運放控制IRF830調(diào)速，它比可控硅調(diào)速優(yōu)越，故其轉(zhuǎn)速在500—8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。

2．本勻膠機有兩檔轉(zhuǎn)速。在啟動之后，先以低速運轉(zhuǎn)，然后自動變到高速運轉(zhuǎn)。兩檔速度及運行時間分別可調(diào)。

3．本勻膠機采用光電檢測，數(shù)字電路測速，對電機的轉(zhuǎn)速檢測快速準確。電機穩(wěn)速方面采用了光電隔離的精密負反饋電路，使整機在高達8000RPM以上轉(zhuǎn)速時仍十分穩(wěn)定，有力的保證了勻膠質(zhì)量。

4．“吸片”采用電子開關(guān)控制電磁閥完成氣路通斷，這樣適合流水線工藝，一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作，提高效率。

5．勻膠機定時采用可調(diào)定時電路控制，面板上調(diào)節(jié)Timer旋鈕即可改變勻膠時間。

6．在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，因而勻膠機在運轉(zhuǎn)時噪音很低。

7．電磁閥與電機運行有連鎖功能，電磁閥未動作不能啟動電機運行，本次勻膠電機未停不能進行下次勻膠，若運行中誤按“CONTROL”鍵也不能停止吸氣，即不會產(chǎn)生跑片。

由于采用了以上一系列措施，故本機具有很高的轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性和快速啟動性，可以保證涂覆表面均勻，并可通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。

技術(shù)指標：

SpeedⅠ調(diào)速范圍 500—2500轉(zhuǎn)/分
TimerⅠ勻膠時間 3—18秒
SpeedⅡ轉(zhuǎn)速范圍 800—8000轉(zhuǎn)/分
TimerⅡ勻膠時間 3—60秒
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 ±1%
電源電壓（二種） 220v/ 50Hz或110v /50Hz
電機功率 40W
被鍍物質(zhì)尺寸 Φ8—Φ150mm
真空泵抽氣速率 ≥60升/分
儀器尺寸：207×235×260 mm
包裝尺寸：300×250×280 mm
毛重：8 Kg

名稱：核鑫電子科技（上海）有限公司

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