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當前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導體加工設(shè)備 » 光刻設(shè)備 » 步進光刻機 »NSR1505g6E 光刻機 上海卓晶半導體科技有限公司
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    NSR1505g6E 光刻機 上海卓晶半導體科技有限公司

    應(yīng)用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-步進光刻機

    產(chǎn)品品牌

    卓晶

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-上海市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：卓晶

    型號：

    所屬系列：半導體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-步進光刻機

    NSR1505g6E 光刻機 上海卓晶半導體科技有限公司 設(shè)備商城

    NSR1505g6E主要用于CD線寬不超過0.65μm器件的生產(chǎn)。

    主要技術(shù)指標

     

    分辨率

    0.65μm

    Resolution

    0.65μm

    N.A.

    0.54

    N.A.

    0.54

    曝光光源

    436nm

    Exposure light source

    436nm

    倍率

    1:5

    Magnification

    1:5

    最大曝光市場

    15mmX15mm

    Maximum Exposure area

    15mmX15mm

    對準精度

    140nm

    Alignment accuracy

    140nm

    提供3”、4”、5”、6”、設(shè)備改造。

    常年提供所有備件、耗材。

    更多型號設(shè)備歡迎致電或瀏覽我們的網(wǎng)站。

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