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半自動劃片晶圓貼膜機

(型號:SWM-100)

技術參數(shù)

1. 主要規(guī)格

1.1 框架尺寸: 6或8英寸（DISCO標準）客戶指定

1.2 膜種類: 藍膜或者UV膜

寬度: 230毫米（6英寸框架）300毫米（8英寸框架）

長度: 100米

厚度: 0.05~0.2毫米

1.3 晶圓規(guī)格： 4，5，6，8英寸客戶指定

1.4 晶圓厚度: 150-750um

1.4 貼膜原理: 防靜電滾輪貼膜（自動貼膜）

1.5 工作臺盤: 特氟隆涂層接觸式臺盤（工作臺有加熱,溫度為:常溫-100°C）

1.6 裝卸方式: 產(chǎn)品手動放置與取出

1.7 切割系統(tǒng): 直線刀切割僅在框架以外5毫米處，圓切割刀順時針方向旋轉切割。

獨特的直切刀技術保證在同類機臺膠膜應用最節(jié)省

1.8產(chǎn)品定位: CHUCK TABLE上對應WAFER形狀的刻線,真空吸固定WAFER

1.9電力供應: 單相交流電220V,5A

1.10壓縮空氣: 5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2立方英尺

1.11體積: 560毫米(寬)*860毫米(深)*510毫米(高)

1.12凈重: 75公斤

2. 機器性能:

2.1 晶圓收益: >=99.9%

2.2 貼膜質量: 沒有氣泡(不包括碎粒氣泡)

2.3 每小時產(chǎn)能: >=80 片

3. 安裝,培訓及驗收:

3.1 賣方負責將機器安裝,調機,試運行及性能測試

3.2 賣方給于買方內部操作員工,工程師, 維護人員完善的技術培訓直到他們可以穩(wěn)定獨立地操

作機器

4. 保修條款:

4.1 賣方保證設備完全滿足買方正常生產(chǎn)要求及購買規(guī)格
4.2 保修期為買方正式驗收起12個月內

5. 其他說明 :

5.1 設備自動拉膜，自動貼膜，達到省力，易操作的效果

5.2 自動貼膜，貼膜質量好，貼膜壓力可以調節(jié)

5.3 自動拉膜能夠良好的控制每片的拉膜長度，讓膜在前后兩邊超出鐵環(huán)長度控制在1cm左右，達到省膜的效果

5.4 雙層膜的隔離層采用力拒馬達回收

5.5 設備電器，氣動等標準件采用進口品牌

半自動晶圓貼膜機

應用于半導體行業(yè)：

產(chǎn)品品牌

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