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ST8370全自動(dòng)三瓶特殊氣體輸送柜
全自動(dòng)三瓶GC

　　ST8370全自動(dòng)三瓶特殊氣體輸送柜是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險(xiǎn)性氣體供應(yīng)而設(shè)計(jì)的供應(yīng)系統(tǒng)，基本功能包括自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷（當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí)）。ST8320全自動(dòng)氣柜通過(guò)采用PLC控制，觸控屏為人機(jī)界面，通過(guò)設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動(dòng)閥、過(guò)流量計(jì)等裝置，實(shí)現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計(jì)的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求，同時(shí)也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。
　　適合氣體：易燃性，腐蝕性，毒性氣體，諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。
　　適用行業(yè)： Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED等工廠。

ST8370全自動(dòng)三瓶特殊氣體輸送柜

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