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■ UVO-CLEANER 紫外光加臭氧清洗機(jī)

是去除有機(jī)污染物(Organic Contaminants) 最安全、最有效率的方式
特別是針對(duì)”矽晶片”，”砷化鎵”，”石英”，”藍(lán)寶石”，”玻璃”，”雲(yún)母”，”陶瓷” 及”金屬” 等材料。

有機(jī)污染分子(如"光阻劑"，"樹(shù)脂"，"人類(lèi)表皮油脂"，"清潔劑殘留物"，"矽油"，"助燃劑" 等)。經(jīng)吸收短波長(zhǎng)之UV 輻射(253.7nm) 即變成激發(fā)狀態(tài)之分子，再與活性氧原子[O] 起反應(yīng)/ 結(jié)合，即形成易揮發(fā)之分子，離開(kāi)物體表面，如此即達(dá)到其清洗之效果。

■ 多種不同系統(tǒng)與照射時(shí)間之清洗效率比較表

■ 各種機(jī)型規(guī)格如下：

選購(gòu)項(xiàng)目：

• 高功率Suprasil UV Lamp ：

可大幅提昇紫外光加臭氧清洗機(jī)之清洗效率

• 臭氧分解器(Ozone Killer) ：

可分解排放癈氣中之臭氧, 且易與清洗機(jī)及廢氣排放系統(tǒng)做連接

• 臭氧排放風(fēng)箱(Blower) ：

與臭氧分解器之出風(fēng)口連接可增強(qiáng)癈氣排放之速率

OZONE PRODUCING Hg GRID LAMP	BLOWER	CATALYTIC OZONE KILLER

	Model : BLW-200	Model : OKL-200-4

美國(guó)Jelight紫外光臭氧清洗機(jī)

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