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    單晶爐NXRJ-CZ9524 B/P 寧夏日晶

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-長晶設備-單晶爐

    產(chǎn)品品牌

    寧夏日晶

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-寧夏

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：寧夏日晶

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-長晶設備-單晶爐

    單晶爐NXRJ-CZ9524 B/P

      

    NXRJ-CZ9524 B/P
    主要功能參數(shù) NXRJ-CZ9524 B/P
    CCD 相素 2000000(Color）
    個數(shù) 雙CCD
    IRCON 精度 0.1ºC
    晶料相關(guān) 裝料量 150Kg
    通用直徑 8~10"/或非標
    坩鍋直徑 22"/24"
    晶棒最長尺寸 2010mm
    機器外型 中爐內(nèi)徑 950mm
    機器安裝面積 1815X1650mm
    機器高度 7500mm
    爐體重量 ~4500Kg
    電源系統(tǒng) 輸入電源 三相AC380V±5% 240KVA
    電源頻率 50HZ/60HZ
    加熱器功率 Max:165Kw Dc55V 3000A
    電源裝置 1GBT/可控硅
    可控硅&變壓器 全水冷數(shù)字CPU控制
    雙LCD顯示屏 有
    籽晶升降 籽晶行程 3200mm
    籽晶升速 低速0~10mm/min
    高速500mm/min
    籽晶轉(zhuǎn)速 0~40RPM
    籽晶繩材質(zhì) 鎢質(zhì)直徑2.5mm
    坩堝升降 坩堝行程 500mm
    坩堝升速 低速0~0.5mm/min
    高速90mm/min
    坩堝轉(zhuǎn)速 0~21RPM
    最大載重 >250Kg
    其他 籽晶晃動范圍 轉(zhuǎn)速<12RPM時晃動<2mm
    爐體水平度 水平<0.06mm/m
    極限真空 <3mT
    真空漏氣率 <0.5mT/min
    控制方式 PLC 三菱Q06H/基恩士PLC
    PC 高性能PC(雙屏)
    自動/手動 全自動
    稱重系統(tǒng) 精度 0.1Kg
    液面測溫 控制范圍 0.1ºC

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