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    多晶鑄錠爐NXRJ-MC500 B/P 寧夏日晶

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-長晶設備-多晶爐

    產(chǎn)品品牌

    寧夏日晶

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：寧夏日晶

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-長晶設備-多晶爐

    多晶鑄錠爐NXRJ-MC500 B/P

     

    多晶鑄錠爐NXRJ-MC500 B/P
    主要功能 NXRJ-MC500 B/P 參數(shù)
    產(chǎn)品規(guī)格 500Kg裝料 840mmX840mmX304mm
    機身重量 主爐體 約5500Kg
    操作箱 約50Kg
    控制箱 約400Kg
    電源箱 約1800Kg
    外形尺寸 　 4800mmX3500mmX5100mm
    腔體 內(nèi)徑 1870mm
    材質(zhì) 內(nèi)：SUS316L 厚16mm
    外：SUS304L 厚8mm
    高度 上腔體：1580mm
    下腔體：780mm
    爐蓋厚：68mm
    3組電極中心距 900mm
    觀察窗 測溫及觀察：1處
    冷卻水流路分割 螺旋形構(gòu)造
    冷卻水排水口 爐體各部件最下部
    保溫體      升降機構(gòu) 升降驅(qū)動方式 自動/半自動
    升降行程 ≤380mm
    限位開關 2處（上限、下限）
    下爐體        升降機構(gòu) 升降驅(qū)動方式 半自動
    升降行程 ≤950mm
    限位開關 2處（上限、下限）
    真空度 結(jié)晶的拉制環(huán)境 60KPa（工藝要求）
    空的冷爐極限真空度 3Pa以下
    允許泄露量 5Pa/Hr以下
    真空管路 真空管道的接口尺寸 ISO 100mm
    控制閥 自動/手動
    爐壓控制精度 +0.15KPa
    Ar氣管路 最大流量 200L/min(用MFC控制Ar)
    輸入壓力 2.7kg/cm2以上
    電氣控制系統(tǒng) 加熱器電源 輸入電壓:AC三相380V(50/60Hz)
    加熱器功率:200KW
    輸出控制方式:功率控制/溫度控制
    功率控制精度:額定直流輸出±2%內(nèi)
    冷卻水流量:不小于20L/min
    溫度測定 B型熱電偶 重復精度:±0.5ºC
    測定范圍:0~2000ºＣ
    紅外測溫儀 重復精度:0.1%
    測定范圍:600~2000ºＣ
    控制方式 控制器構(gòu)成 工業(yè)級平板電腦(帶觸摸屏)
    三菱PLC/基恩士PLC
    工藝控制方式 裝料:手動
    抽真空:手動/自動
    加熱:手動自動
    溶解、穩(wěn)定：手動/自動
    凝固、結(jié)晶:手動/自動
    退火:手動/自動
    冷卻:手動/自動
    取出:手動
    冷卻水系統(tǒng) 冷卻水源輸出輸入口 Φ50mm（2英寸）
    流量 300L/min~350L/min
    水壓 3Kg/cm2~3.5kg/cm2
    進出水壓力差 2Kg/cm2以上
    進水溫度 20~30ºC

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