網(wǎng)站首頁
購物車
用戶中心
全部產(chǎn)品分類
提示信息
免費(fèi)咨詢行業(yè)專家
.png)
服務(wù)熱線
4001027270
薄膜應(yīng)力測(cè)量系統(tǒng)
在硅片等基板上附膜時(shí)，由于基板和薄膜的物理定數(shù)有異，產(chǎn)生應(yīng)力，進(jìn)而引起基板變形。由涂抹均勻的薄膜引起的變形的表現(xiàn)為基板的翹曲，而薄膜應(yīng)力測(cè)量裝置FLX系列可從這個(gè)翹曲（曲率半徑）的變化量測(cè)量其應(yīng)力。
Toho FLX-2320-S薄膜應(yīng)力測(cè)量系統(tǒng)的詳細(xì)資料
薄膜應(yīng)力測(cè)量系統(tǒng)：
在硅片等基板上附膜時(shí)，由于基板和薄膜的物理定數(shù)有異，產(chǎn)生應(yīng)力，進(jìn)而引起基板變形。由涂抹均勻的薄膜引起的變形的表現(xiàn)為基板的翹曲，而薄膜應(yīng)力測(cè)量裝置FLX系列可從這個(gè)翹曲（曲率半徑）的變化量測(cè)量其應(yīng)力。
技術(shù)參數(shù)：
Toho FLX-2320-S薄膜應(yīng)力測(cè)量系統(tǒng)精確測(cè)量多種襯底材料、金屬和電介質(zhì)等薄膜應(yīng)力。
主要特點(diǎn)：
◆雙光源掃描（可見光激光源及不可見光激光源），系統(tǒng)可自動(dòng)選擇最佳匹配之激光源；
◆系統(tǒng)內(nèi)置升溫、降溫模擬系統(tǒng)，便于量測(cè)不同溫度下薄膜的應(yīng)力，溫度調(diào)節(jié)范圍為-65℃至500℃；
◆自帶常用材料的彈性系數(shù)數(shù)據(jù)庫，并可根據(jù)客戶需要添加新型材料相關(guān)信息至數(shù)據(jù)庫，便于新材料研究；
◆形象的軟件分析功能，用于不同測(cè)量記錄之間的比較，且測(cè)量記錄可導(dǎo)出成Excel等格式的文檔；
◆具有薄膜應(yīng)力3D繪圖功能。
用戶界面：
最新版WINDOWS OS易懂操作界面。
另搭載豐富的基板材料數(shù)據(jù)庫。自動(dòng)保存測(cè)量數(shù)據(jù)等方便性能。
每個(gè)用戶可分別設(shè)定訪問權(quán)限。使用自帶軟件實(shí)現(xiàn)簡單卻性能高，簡單測(cè)量。
3D Mapping Process Program 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量 Recipe
Wafer形狀2D顯示 訪問級(jí)別編輯界面
數(shù)據(jù)庫2軸彈性系數(shù)
購買之前，如有問題，請(qǐng)向我們咨詢
關(guān)于我們 | 購物指南 | 營業(yè)執(zhí)照 | 幫助中心 | 友情鏈接 | 聯(lián)系我們
Copyright? 半導(dǎo)體商城 2015-2022，All Rights Reserved
