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    全纖維井式真空爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-井式爐

    庫       存:

    10000

    產(chǎn)       地:

    中國-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

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    全纖維井式真空爐

    一、全纖維井式真空爐用途 
            本系列全纖維井式真空爐主要供金屬機件等在氣氛保護下進行光亮退火或回火之用。
    二、全纖維井式真空爐結(jié)構(gòu)簡介
            本電爐結(jié)構(gòu)主要由爐體、爐蓋、加熱元件、不銹鋼爐罐,不銹鋼、熱風(fēng)循環(huán)裝置和溫控系統(tǒng)組成。
    1、爐殼:
            爐殼鋼結(jié)構(gòu)由角鋼、槽鋼、鋼板經(jīng)焊接成圓柱形外殼。
    2、爐膛保溫部分: 
            采用全纖維結(jié)構(gòu),選用目前國內(nèi)全新型高純1260型陶瓷纖維毯作為爐膛的隔熱保溫材料,該纖維毯是一種人造無機金屬纖維材料,20世紀(jì)美國首先在加熱爐上使用,由于其卓越的性能,各先進國家紛紛研制使用,我國在90年代得到較多的推廣應(yīng)用,在技術(shù)上已完全成熟可靠。近年來我公司加大了這方面的技術(shù)開發(fā),已為眾多用戶生產(chǎn)制造了多種系列的近百臺全纖維工業(yè)電爐,其中有電爐、氣爐、油爐等。
            制作時使用專用設(shè)備將纖維毯按220kg/m3的比例,按爐膛尺寸壓縮成折疊纖維折疊大板塊,并在加工過程留有一定的壓縮量,以保證折疊塊在筑爐完畢后,每塊陶瓷纖維塊在不同方向膨脹,使折疊塊之間互擠成無間隙的整體,達到完好的蓄熱效果,并且錨固件設(shè)置于爐體冷面,提高了纖維的耐高溫強度。
    3、不銹鋼爐罐:
             爐罐在結(jié)構(gòu)和制作等方面采取了以下措施:爐膽選用10㎜  1Cr18Ni9Ti高強度耐熱不銹鋼制作,罐底采用橢圓形封頭;在爐膽的底部焊有一層放置料盤的不銹鋼板。為保證爐蓋的密封圈不致受熱損壞,在爐罐口制作了水冷套;由于爐罐法蘭密封槽經(jīng)較高精度的加工,從而保證了真空罐的氣密性,使該爐漏氣率低,能在較短時間內(nèi)達到真空。
    4、爐蓋:
            它由面板、隔熱箱、強對流風(fēng)機、排氣管和抽氣、放氣共用管道組成。面板為A3板,經(jīng)過較高精度金加工而成。爐蓋上有一只大流量強對流風(fēng)機,用來攪拌爐內(nèi)氣氛通過強迫對流使?fàn)t內(nèi)溫度達到均勻。三根氣管均布于爐蓋,一根管與真空橡膠管套接并與氣源相通;一根供點燃廢氣用;另一根供測定爐內(nèi)壓力的壓力表用;還有測定爐罐溫度的熱電偶插孔。
    爐蓋的升降為自動升降方式,只需開動開關(guān)即可實現(xiàn)自動升降,當(dāng)爐上升到指定高度時,爐蓋將自動停止。
    5、熱風(fēng)循環(huán)風(fēng)機:
            為使?fàn)t內(nèi)的溫度更為均勻,本爐在爐蓋上裝有一臺大流量熱風(fēng)循環(huán)風(fēng)機,作為在加熱過程中攪拌爐膛內(nèi)的空氣,使?fàn)t內(nèi)形成熱循環(huán),本系統(tǒng)有電機、風(fēng)冷裝置、風(fēng)葉軸、葉輪組成,在使用時只需點動控制按紐即可,同時風(fēng)機電源與爐蓋升降形成聯(lián)鎖作用,當(dāng)爐蓋上升的同時切斷風(fēng)機電源,風(fēng)機停止工作。
    6、加熱元件:
            本爐爐體加熱元件全部采用首鋼原裝電阻帶0Cr25Al5作為加熱元件,加熱元件采用特制模具加工成波形結(jié)構(gòu),安裝于爐膛四周,安裝時考慮安全可靠,施工方便,結(jié)構(gòu)合理和制作容易的原則。采用陶釘安裝電阻帶安裝時用陶瓷墊圈將電阻帶與纖維爐襯隔開,陶釘從電阻帶波峰內(nèi)穿過陶瓷墊圈,順時針旋轉(zhuǎn),擰入纖維爐襯,因陶釘帶有梯形羅紋,與纖維的附著力很強,所以電阻帶固定牢固安裝方便。
    三、全纖維井式真空爐控制系統(tǒng)
            采用模糊理論和傳統(tǒng)PID控制相結(jié)合的控制方式,使控制過程具有響應(yīng)快、超調(diào)小、穩(wěn)態(tài)精度高的優(yōu)點,四位超大LCD顯示,具有完美的自整定、自適應(yīng)功能,可同時顯示測量值與設(shè)定值,具有手動/自動無攏動切換,可自動調(diào)節(jié)控制爐膛內(nèi)的加熱功率,并可手動調(diào)節(jié)功率大小,操作方便,系統(tǒng)還配有控溫、超溫報警和自動切斷電源功能,使設(shè)備運行確保安全可靠。系統(tǒng)具有聲光報警功能。
    注:該全纖維井式真空爐可根據(jù)客戶要求專業(yè)設(shè)計制造。

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