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氣體配比器主要用于氣體流量測試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環(huán)境. 控制方式采用集成化模塊控制 功能延伸性強(qiáng) 根據(jù)客戶要求隨意添加
該氣體配比器可以外接3或多種氣體,采用質(zhì)子型流量計,氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.
1.半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制
2.各種真空鍍膜設(shè)備
3.特種材料表面處理
4.氣體燃燒控制
5.混和配氣系統(tǒng)
6.泄漏探測系統(tǒng)
7.環(huán)境檢測與分析設(shè)備
8.分析儀器的氣體流量計量與控制
9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要?dú)怏w檢測和控制的場所
技術(shù)資料
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產(chǎn)品型號 |
KT-C3Z |
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產(chǎn)品類型 |
高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制 觸摸屏控制 |
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可選量程 |
20sccm,30sccm,50sccm, 200sccm,500sccm,1slm ,5slm,10slm |
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產(chǎn)品精度 |
高精度型±1％F.S 普通型±1％F.S |
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重復(fù)精度 |
高精度型±0.2% F.S 普通型±0.2% F.S |
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線性 |
高精度型±0.5% F.S. 普通型±1% F.S. |
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響應(yīng)時間 |
高精度型≤2sec 普通型≤4sec |
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工作溫度范圍 |
(5~45)°C |
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供電電源 |
~85-265VAC 50/60Hz |
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最大功耗 |
40W |
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進(jìn)氣口壓 |
≤0.6MPa |
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連接管道 |
φ4-6mm316不銹鋼管道 |
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截止閥類型 |
電磁閥 |
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單向閥開啟壓力 |
0.02Mpa |
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壓力顯示量程 |
0-0.6Mpa |
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控制方式 |
7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié) |
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時間設(shè)定 |
0-99999 |
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清洗功能 |
一鍵清洗 |
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數(shù)據(jù)導(dǎo)出 |
無 |
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程序控制 |
5段可編程序(時間-流量隨意設(shè)定值) |
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壓力顯示 |
有（出氣壓力檢測） |
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氣體緩沖罐 |
有 |
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流量累計 |
有（累計當(dāng)前運(yùn)行總流量） |
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可選進(jìn)出氣口接頭形式 |
3MM 6MM 1/8mm 1/4mm 雙卡套接頭 |
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抗電磁干擾 |
無 |
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外形尺寸 |
460x210X480 |
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重量 |
18KG |
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