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SPIN:2組
轉(zhuǎn)速:3000rpm/min
最大轉(zhuǎn)速:6000rpm/min
轉(zhuǎn)動(dòng)精度:±1rpm/min
加速度:100-30000rpm/min/s
膠路 :4路自動(dòng)膠泵
觸控人機(jī)操作界面
潔凈機(jī)器人傳送晶圓
自動(dòng)對(duì)中功能
自動(dòng)滴膠
hot plate 50~200℃(1-8組可選)
cool plate 23±0.1℃(1-2組可選)
AD (1-2組可選)