該儀器專門用于硅單晶錠的定向,是和多線切割機配套使用的半導體行業(yè)專用設備。臺上有一對滾杠,用于3~8英寸晶錠測定。晶錠放在滾杠上,其端面在X射線照射下定向。
晶錠尾端與編碼器偶合,細分步到0.001°,用于測定晶錠旋轉(zhuǎn)角度。可進行四方位(0°,90°,180°,270°)和二方位(0°,90°)測量。該儀器有一套微機控制裝置,具有輸入鍵盤、屏幕和打印機等。選擇屏幕菜單,鍵入晶錠編號、所需數(shù)據(jù)、產(chǎn)品要求的切割偏角等,經(jīng)計算、顯示、并打印出晶錠在料板(工件板)上粘結(jié)所必須的自身旋轉(zhuǎn)角β及擺角α等值。