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    自動平衡精密氣浮隔振光學(xué)平臺PM/OCT型

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體輔助設(shè)備-工作臺-隔振平臺

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    99

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    全國

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    所屬系列：半導(dǎo)體輔助設(shè)備-工作臺-隔振平臺

     被動隔振技術(shù)——彈簧    

    最簡單的無源隔離器之一。彈簧對振動物體產(chǎn)生反作用，通過變形來吸收一些能量。一個簡單的例子是汽車減震器，在這種情況下，沖擊或振動的機械能被轉(zhuǎn)換成熱量，熱吸收彈簧油吸收，從而減少轉(zhuǎn)移到車身振動。它的固有頻率可以很低，但阻尼很小。具有固有頻率和頻率干擾源的系統(tǒng)差得多，隔離效果好。一次嚴(yán)重的缺點是共振放大。

    被動隔振技術(shù)——橡膠              

    橡膠是通過變形來吸收振動的。春天是不同的，橡膠可以吸收所有的方向。

    被動隔振技術(shù)——氣動平臺              

    氣動系統(tǒng)采用壓縮空氣活塞，地面振動吸收。缺點是結(jié)構(gòu)復(fù)雜，操作繁瑣，需要外部支持。              

    被動隔振技術(shù)——負(fù)剛度技術(shù)              

    負(fù)剛度隔振平臺提供了一種簡單、可靠、高效的隔振解決方案，可提供6個自由度，諧振頻率低至0.5赫茲或以下。對于一個0.5赫茲的振動隔離系統(tǒng)，可以超過1Hz，優(yōu)于氣動5-10hz平臺允許多個隔振平臺一起使用。從幾十公斤到數(shù)噸。易于使用和調(diào)整。比氣動平臺經(jīng)濟，占用空間少，不需要維護。

     

    產(chǎn)品應(yīng)用范圍:

    適用于對振動要求高的場所。 如光電測量、全息成像、光柵制作等。輕松 調(diào)節(jié),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。

    產(chǎn)品特點：

    隔振支撐采用超薄復(fù)合材料氣囊、自定心準(zhǔn)無摩擦球頭擺桿和帶附加擴散口的多小孔準(zhǔn)層流阻尼技術(shù)，隔振性能良好。自動水平，自動充氣，全部氣動執(zhí)行元件采用德國FEST0產(chǎn)品，靜音空氣壓縮機氣源、噪聲低。 

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