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表面缺陷檢測裝置【魔鏡】

應用魔鏡的原理，高靈敏度地檢查鏡面樣品的表面狀態(tài)?？梢愿哽`敏度地檢測樣品表面上的不均勻性，翹曲，拋光不均勻性等，檢測結(jié)果在監(jiān)視器上用亮度(白 )和暗度(黑)表示。檢查可以在非接觸和非破壞性的情況下進行，并且可以立即確認樣品的表面狀態(tài) 。這是一款使用免維護光學系統(tǒng)，可操作性優(yōu)異的設備。

特長：
1.所有的表面狀態(tài)都是即時的。

2.我們的光學系統(tǒng)對應是1級的。

3.光學系統(tǒng)是免維護的。

4.根據(jù)檢查內(nèi)容，檢測靈敏度/檢測放大率可以進行變更

5.根據(jù)每個樣品和檢查位置定制較佳光學系統(tǒng)

用途：

l 鏡面晶圓的表面檢查

l 滑移線的檢查

l 玻璃基板的檢測

l 其他鏡面基板的檢測

l Film等的基板以外的檢查

規(guī)格：

標準型（YIS-200SP,300SP ）
檢查內(nèi)容	平坦度、DIMPLES 、Mound、Sawmark、Oriangepeel等
使用光源	鹵素燈(550nmFiltering)定照度化亮燈
照度可變	連續(xù)可變（設定值表示）
Camera	CMOSCamera
檢查區(qū)域	φ200mm以下(YIS-200SP)、φ300mm以下(YIS-300SP) φ300mm~φ450mm(可以按特別要求進行制造)
檢查倍率	等倍?3倍模式切換（標準裝備）
感度調(diào)整	連續(xù)可變（設定值表示）
檢查時間	瞬時影像輸出表示
裝置構(gòu)成/ 外形寸法	光學系本體(YIS-200):560(W)X892(D)X1465(H)mm 約30kg
	光學系本體(YIS-300):600(W)X1008(D)X1630(H)mm 約50kg
	電源單元(共通):320(W)X400(D)X110(H)mm 約5kg
	顯示器?控制用PC
電源	電源單元:AC 100V 50/60Hz MAX.3A 顯示器?控制用PC:AC 100V 50/60Hz MAX.1**

高倍率大型（YIS-50HM ）
檢查內(nèi)容	滑移線、Edge、面粗等
使用光源	鹵素燈 (550nmFiltering)定照度化亮燈
照度可變	連續(xù)可變（設定值表示）
Camera	CMOS Camera
檢查區(qū)域	15mm(W) X 10mm(D)
檢查倍率	約30倍
感度調(diào)整	連續(xù)可變（設定值表示）
檢查時間	瞬時影像輸出表示
外形尺寸重量	光學系本體:420(W)X700(D)X970(H)mm 約30kg
	電源單元:320(W)X400(D)X110(H)mm 約5kg
	顯示器?控制用PC
電源	電源單元:AC 100V 50/60Hz MAX.3A 顯示器?控制用PC:AC 100V 50/60Hz MAX.1**

芯茂-表面缺陷檢測裝置-魔鏡

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