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13.56MHz/3kW全固態(tài)射頻電源采用全固態(tài)射頻功放技術(shù)，工作頻率范圍為13.56MHz，功率范圍從2W至3KW，是為半導(dǎo)體生產(chǎn)制造新一代功率源。其主要由電源模塊、射頻發(fā)生器、射頻放大器、控制系統(tǒng)、接口模塊以及冷卻裝置等6大部分構(gòu)成。

沃特塞恩固態(tài)射頻電源具有能耗低、體積小、壽命長(zhǎng)、性能穩(wěn)等優(yōu)點(diǎn)。

> 頻率源采用 DDS 直接數(shù)字頻率合成技術(shù)，頻率穩(wěn)定度高；

> 射頻電源有著很好的功率穩(wěn)定度；

> 適應(yīng)多種駐波比的負(fù)載；

> 擁有完善的保護(hù)電路，保證射頻電源可靠運(yùn)行；

> 電源功放使用貼片型半導(dǎo)體三極管制作，壽命比傳統(tǒng)分立式三極管更長(zhǎng)；

固態(tài)射頻電源應(yīng)用范圍：

半導(dǎo)體工業(yè)方面如等離子體刻膠、等離子蝕刻、 RIE、平行板、ICP、射頻濺射、CVD和PVC等系統(tǒng)、等離子清洗、PECVD、板條射頻激光源等

固態(tài)射頻電源更多詳細(xì)參數(shù)請(qǐng)見(jiàn)：http://www.wattsine.com.cn/productview-16-40.html

廠家直銷(xiāo)13.56MHz固態(tài)射頻電源-體積小壽命長(zhǎng)-沃特塞恩電子

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