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    包郵 關(guān)注:603

    全自動RCA清洗機(jī)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體清洗設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    蘇州尚純

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    ￥10000.00
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：蘇州尚純

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體清洗設(shè)備

     

    全自動RCA清洗機(jī)

    適用產(chǎn)業(yè)：半導(dǎo)體等

    控制模式：手動控制模式、自動控制模式

    項(xiàng)目

    數(shù)據(jù)

    適用對象

    硅片      2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

    藍(lán)寶石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

    砷化鎵晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

    碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

    其它襯底晶片

    基本規(guī)格

    機(jī)臺封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm）

    機(jī)臺主體強(qiáng)度結(jié)構(gòu)：整體骨架表面噴涂處理Or China SUS 矩形材

    機(jī)臺視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm）Or China 鋼化玻璃（厚度≥2mm）

    選配模塊

    l 腐蝕液恒溫系統(tǒng)

    l 腐蝕液循環(huán)過濾系統(tǒng)

    l 超（兆聲）系統(tǒng)

    l 全自動供液系統(tǒng)

    l 更全面的全自動烘干系統(tǒng)

    l 消防系統(tǒng)

    l 可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料存儲、CIM系統(tǒng)、資料分析存儲建立管理

    機(jī)臺特點(diǎn)

    l 刻蝕工藝自動補(bǔ)藥液保證了工藝槽在運(yùn)行過程中濃度的穩(wěn)定性

    l QDR沖洗模塊非常見排序式，可根據(jù)制程工藝設(shè)定

    l 集成自動干燥系統(tǒng)

    l 管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、伺服電機(jī)及絲杠導(dǎo)軌等關(guān)鍵核心部件均采用進(jìn)口標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品

    l 保修便利，非期貨庫存品工廠內(nèi)均建立安全庫存品

    l 全程自動化控制，幾何曲線加減速運(yùn)動，沖擊小運(yùn)行平穩(wěn)，機(jī)械臂定位精度高

    l 多級別用戶工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲

    l 作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動及被動保護(hù)相結(jié)合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全

    l 客制化設(shè)計(jì)能力佳，搞設(shè)計(jì)能力滿足客戶制程工藝需要

    機(jī)械臂裝置

    Robot的工藝路徑種類 N種（設(shè)備出廠前載入PLC內(nèi)）

    機(jī)械手傳送定位精度 ≤0.3mm

    機(jī)械臂走向 右進(jìn)做出或左進(jìn)右出

    制程控制

    PLC控制方式

    操作界面

    全圖形化中文彩色人機(jī)界面（10.4彩屏）

    槽體數(shù)量

    根據(jù)制程要求選擇定制

    設(shè)備制造

    蘇州尚純半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

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