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    包郵 關(guān)注:365

    CDS供液柜

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備

    庫       存：

    10

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥10000.00
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    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備

     Ø 輸送系統(tǒng)采用氣動隔膜泵（第四節(jié)IPA 采用不銹鋼氣動隔膜泵）將用戶原液桶的化學(xué)液輸送至設(shè)備清洗槽，其中化學(xué)液輸送能力不小于10L/min

    Ø 每種化學(xué)液采用一備一用雙桶單泵配置，同時具備漏液報警，原液通低液位報警等功能

    Ø DI水隔膜泵沖洗功能是指用DI水沖洗化學(xué)液管路，防止操作人員因管路內(nèi)殘留化學(xué)液而導(dǎo)致的危害隱患

    Ø 所有化學(xué)液輸送管路PFA管外須有PVC外套管，防止漏液時化學(xué)液漏到CDS設(shè)備或機(jī)臺外部

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