網(wǎng)站首頁(yè)

|EN

當(dāng)前位置: 首頁(yè) » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 鍍膜設(shè)備 » 磁控濺射機(jī) »磁控濺射系統(tǒng)
    包郵 關(guān)注:3016

    磁控濺射系統(tǒng)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-磁控濺射機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    SPTS

    庫(kù)       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    英國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:SPTS

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-磁控濺射機(jī)

    用途說(shuō)明

    薄膜濺射腔體用于薄膜的濺射;在一相對(duì)穩(wěn)定真空狀態(tài)下,陰陽(yáng)極間產(chǎn)生輝光放電,極間氣體分子被離子化而產(chǎn)生帶電電荷,其中正離子受陰極之負(fù)電位加速運(yùn)動(dòng)而撞擊陰極上之靶材,將其原子等粒子濺出,此濺出之原子則沉積于陽(yáng)極之基板上而形成薄膜。
    磁控濺射鍍膜設(shè)備

     

    模塊構(gòu)成及其功能描述

    · 基片工作面朝上

    · 具有預(yù)清洗功能(通過(guò)被電離的氬離子轟擊晶片表面,實(shí)現(xiàn)預(yù)清洗功能

    · 靶材與晶片距離:45毫米

    · 具有脈沖可移動(dòng)磁鐵設(shè)計(jì)

    · AE公司10kW脈沖直流電源

    · 兼容4英寸/6英寸晶片(需加裝尺寸轉(zhuǎn)換零件)

    · 分子泵
    型號(hào):普發(fā)真空HiPace 300

    氬氣抽速:250 l/s

    極限真空:7.5 • 10-8 Torr

    · 具有鍍膜時(shí)冷卻基片功能,通Ar氣冷卻,利用空氣對(duì)流原理

    · 配備2根氣路,配有氣動(dòng)隔離閥和過(guò)濾器Ar流量范圍0-140SCCM; O2流量范圍是0-100sccm

    · 標(biāo)準(zhǔn)晶片底座配置

    · 晶片底座帶有偏置電壓,0-600W,13.56MHz,自動(dòng)阻抗匹配

    · 2套標(biāo)準(zhǔn)陶瓷件

    磁控濺射的功能是通過(guò)利用 Ar一O2混合氣體中的等離子體在電場(chǎng)和交變磁場(chǎng)的作用下,被加速的高能粒子轟擊靶材表面,能量交換后,靶材表面的原子脫離原晶格而逸出,轉(zhuǎn)移到基體表面而成膜。

     

    操作控制系統(tǒng)

    · 控制系統(tǒng)安裝在Windows操作系統(tǒng)中,主控制服務(wù)器可以控制每個(gè)腔室。自動(dòng)化軟件能單獨(dú)控制每一個(gè)工藝腔室,能監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài),實(shí)時(shí)監(jiān)控工藝參數(shù),電腦能自動(dòng)存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)。系統(tǒng)軟件可對(duì)各腔室工藝編輯,編程控制膜層濺射順序,一個(gè)工藝流程可以涉及多個(gè)工藝腔室,按程序依次對(duì)片盒中晶片鍍膜。具有EMO開(kāi)關(guān),配置UPS電源,在突發(fā)斷電時(shí),系統(tǒng)可以安全關(guān)機(jī)。滿足數(shù)字化工藝控制,具備設(shè)備監(jiān)控與管理數(shù)據(jù)采集接口,通過(guò)MES系統(tǒng)連接可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控和數(shù)據(jù)采集。

    · 用戶界面有高端且易用的工藝方案管理系統(tǒng)。自動(dòng)化軟件能單獨(dú)控制每一個(gè)工藝模塊,即所有工藝模塊可以同時(shí)運(yùn)行,互不干擾,一個(gè)工藝流程可以涉及多個(gè)工藝腔室,即能同時(shí)使用所有的工藝腔室,增加靈活性程度及產(chǎn)能更高。

    · 數(shù)據(jù)記錄提供了實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)采集。用戶可以決定每一個(gè)工藝步驟中哪些變量要被記錄,并且可以在屏幕上顯示、存儲(chǔ)和打印這些數(shù)據(jù)。

    咨詢

    購(gòu)買之前,如有問(wèn)題,請(qǐng)向我們咨詢

    提問(wèn):
     

    設(shè)備靶材使用的是平面型的還是輥型的?靶材的利用率能達(dá)到65%嗎?

    dfft  2017-08-03

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

    微信公眾號(hào)