服務(wù)熱線
4001027270
主要技術(shù)性能參數(shù):
型號Model
參數(shù)Parameter
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JP-700
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JP-900
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濺射室尺寸∕mm
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Φ700×860
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Φ900×1200
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濺射方向
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側(cè)面濺射
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濺射室類型
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立式前開門方式
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極限壓力∕Pa
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5×10-4
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抽氣時間∕min
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從1×105Pa至2×10-3Pa≤20
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濺射工作壓力∕Pa
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10-10-1
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真空系統(tǒng)
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油擴散泵系統(tǒng) 氣動閥門
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濺射靶尺寸∕mm
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80×740
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120×1050
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濺射靶數(shù)量
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1個或2個
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靶電源功率∕kWS
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1套DC10
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1套DC25
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工作旋轉(zhuǎn)∕r•min-1
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3-12
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工件盤直徑∕mm
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-
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-
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烘烤溫度∕
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室溫至300 可調(diào)
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工藝氣體控制方式
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一套質(zhì)量流量控制器,一套自動壓強儀
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冷卻水流量∕L•min-1
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20
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25
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水壓∕kPa
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2.5×105
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進水溫度∕℃
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≤25
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壓縮空氣∕kPa
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(5-8)×105
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用電功率∕kW
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25
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60
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占地面積∕mm
寬×深×高
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2000×2500×2100
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2500×3000×2300
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北儀創(chuàng)新公司一貫秉承并將繼續(xù)堅持“誠信 精益”的企業(yè)精神,不斷汲取客戶的建議及業(yè)界的先進技術(shù),以“顧客先導(dǎo) 持續(xù)改進”的價值觀在合作中實現(xiàn)共贏。
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