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    包郵 關(guān)注:1691

    JP系列鍍膜機適用于企業(yè)批量化生產(chǎn)高致密度高結(jié)合力薄膜

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-磁控濺射機

    產(chǎn)品品牌

    北京北儀

    規(guī)格型號:

    JP系列鍍膜機

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-北京市

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    1.00
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    品牌:北京北儀

    型號:JP系列鍍膜機

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-磁控濺射機

    JP系列鍍膜機適用范圍:
    適用于企業(yè)批量化生產(chǎn)高致密度高結(jié)合力薄膜。
    JP系列鍍膜機技術(shù)特點:
    配備DCRF磁控濺射源,側(cè)面濺射,可濺射金屬和介質(zhì)材料;濺射靶可方便清潔和更換;工件架鼠籠式多邊型結(jié)構(gòu)或公自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu),裝夾量大,適應(yīng)性強。


    主要技術(shù)性能參數(shù):

    型號Model
    參數(shù)Parameter
    JP-700
    JP-900
    濺射室尺寸∕mm
    Φ700×860
    Φ900×1200
    濺射方向
    側(cè)面濺射
    濺射室類型
    立式前開門方式
    極限壓力∕Pa
    5×10-4
    抽氣時間∕min
    從1×105Pa至2×10-3Pa≤20
    濺射工作壓力∕Pa
    10-10-1
    真空系統(tǒng)
    油擴散泵系統(tǒng) 氣動閥門
    濺射靶尺寸∕mm
    80×740
    120×1050
    濺射靶數(shù)量
    1個或2個
    靶電源功率∕kWS
    1套DC10
    1套DC25
    工作旋轉(zhuǎn)∕r•min-1
    3-12
    工件盤直徑∕mm
    -
    -
    烘烤溫度∕
    室溫至300 可調(diào)
    工藝氣體控制方式
    一套質(zhì)量流量控制器,一套自動壓強儀
    冷卻水流量∕L•min-1
    20
    25
    水壓∕kPa
    2.5×105
    進水溫度∕℃
    ≤25
    壓縮空氣∕kPa
    (5-8)×105
    用電功率∕kW
    25
    60
    占地面積∕mm
    寬×深×高
    2000×2500×2100
    2500×3000×2300


       北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司(原北京儀器廠)創(chuàng)建于1954年,總部位于中央商務(wù)區(qū)(CBD)的中心位置。生產(chǎn)基地位于大興工業(yè)開發(fā)區(qū),占地面積31064平方米,建筑面積45504平方米。2003年通過ISO-2000質(zhì)量體系認證。共有真空獲得、真空測量、真空應(yīng)用三大類產(chǎn)品,從低真空到超高真空30多個系列160多個品種。產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于航天航空、電子信息、光學(xué)產(chǎn)業(yè)、冶金、建筑裝飾、食品、紡織、電力環(huán)保及新能源等行業(yè)。經(jīng)過50多年對真空技術(shù)的探索,通過與全國多所大專院校、研究院所進行的多次合作開發(fā),以及公司研發(fā)人員不斷的創(chuàng)新與研發(fā),北儀創(chuàng)新公司始終站在中國真空行業(yè)的前沿。
        在真空測量技術(shù)、真空獲得技術(shù)、光學(xué)多層全自動鍍膜技術(shù)、通用磁控濺射及多靶磁控濺射技術(shù)(DC、MC、RF濺射技術(shù))以及PECVD技術(shù)等方面處于國內(nèi)領(lǐng)先,并有多項科研成果獲得國家專利。近年來,為多個院校、研究院所開發(fā)制造多臺用于研究薄膜太陽能電池的實驗室設(shè)備。在擁有成熟的真空技術(shù)的基礎(chǔ)上,2006年北儀創(chuàng)新公司研制成功了國內(nèi)首條自行設(shè)計制造的非晶硅薄膜太陽能電池生產(chǎn)線,其核心是采用單室多片大面積PECVD沉積技術(shù),用于生產(chǎn)大型玻璃光電模板一次完成多片數(shù)十平方米的雙節(jié)非晶硅薄膜的沉積,在相對低的設(shè)備投資下取得較高的大面積模板的產(chǎn)量,產(chǎn)品的性能指標(biāo)達到國際同等水平,設(shè)備銷往廣東、福建、浙江等地區(qū),改變了以往我國非晶硅薄膜電池生產(chǎn)線依靠進口的現(xiàn)狀。

    北儀創(chuàng)新公司一貫秉承并將繼續(xù)堅持“誠信 精益”的企業(yè)精神,不斷汲取客戶的建議及業(yè)界的先進技術(shù),以“顧客先導(dǎo) 持續(xù)改進”的價值觀在合作中實現(xiàn)共贏。

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