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當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 光刻設(shè)備 » 雙面光刻機(jī) »MEMS專用EVG光刻機(jī)
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    包郵 關(guān)注:808

    MEMS專用EVG光刻機(jī)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-雙面光刻機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    EVG

    規(guī)格型號(hào)：

    EVG610單面/雙面光刻機(jī)

    發(fā)貨期限：

    6個(gè)月天

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    中國-上海市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    ￥1.00
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：EVG

    型號(hào)：EVG610單面/雙面光刻機(jī)

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-雙面光刻機(jī)

     u 支持背面對準(zhǔn)光刻和鍵合對準(zhǔn)工藝

    u 自動(dòng)的微米計(jì)控制曝光間距

    u 自動(dòng)契型補(bǔ)償系統(tǒng)

    u 優(yōu)異的全局光強(qiáng)均勻度

    u 免維護(hù)單獨(dú)氣浮工作臺(tái)

    u 最小化的占地面積

    u Windows圖形化用戶界面

    u 完善的多用戶管理（用戶權(quán)限、界面語言、菜單和工藝控制）

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    提問:
     
    問

    請問你們這個(gè)CCD對準(zhǔn)精度多高？襯底尺寸 規(guī)格一般都是多少？

    gookjll  2017-08-07

    答

     您好！

    可否留下您的聯(lián)系方式

    我給您詳細(xì)的技術(shù)參數(shù)！

    謝謝

    8寸以下兼容 對準(zhǔn)精度 頂部0.5um  底部 1um 

    婁 13122976482

    2017-08-07

    問

    基片的尺寸范圍多大？分辨率、對準(zhǔn)精度多高？

    sjfh  2017-08-14

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品：

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

    微信公眾號(hào)