服務(wù)熱線
4001027270
八英電動移動平臺
X-Y-Z-R移動行程分別為200mm/200mm/30mm/15degree
X-Y-Z移動精度1um;R:0.01degree
機(jī)臺由PC控制,軟件可以建立wafer map
系統(tǒng)可以根據(jù)工程人員建立的wafer map自動點(diǎn)針
系統(tǒng)可以搭配高倍顯微鏡和體式顯微鏡兩種光學(xué)系統(tǒng)
光學(xué)部分搭配100萬象素的數(shù)字CCD
系統(tǒng)具有自動校驗功能
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