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產(chǎn)品概述

正置顯微鏡直線電機XY系列平臺，作為全新一代的高性能直驅(qū)電機，磁浮直線電機具有無回程間隙、精度高、動態(tài)速度范圍大、高可靠性以及免維護等傳統(tǒng)絲桿驅(qū)動系統(tǒng)不具備的優(yōu)點，海德星科技開創(chuàng)性的將半導體行業(yè)的磁浮直線電機率先用于顯微鏡掃描平臺上，使得顯微鏡平臺在掃描類應用以及微觀領域操作突破了傳統(tǒng)產(chǎn)品的種種瓶頸。其永不磨損以及免維護的特點更是傳統(tǒng)電機完全無法比擬的，是高精度掃描、病理檢測、顯微操作、晶圓分析等各類先進應用的不二之選。

產(chǎn)品參數(shù)

行程： 80mm（X軸） x 60mm（Y軸）
最小速度： ≤1um/s
最大速度： ≥100mm/s
最小步長*： ≤50nm
雙向重復定位精度**： ≤1um（測試標準ISO230-2）
定位精度**： ≤±2um（測試標準ISO230-2）
正交性： ≤10arc·sec
電機：磁浮直線電機
編碼器分辨率： 156nm（可選更高分辨率編碼器）
軸承：精密交叉滾珠軸承
限位方式：三重限位，軟限位+光電限位+機械限位
材質(zhì)：鋁合金6061-T6
表面處理方式：黑色陽極氧化
重量： 3.2kg
最大負載： ≤1.5kg

注：

*最小步長使用請直接咨詢廠家
**所有有效精度皆需要使用海德星標準控制器

訂購須知

1、訂購型號HDS-MS-XY8060LE156-I
2、訂購時請注明所使用的顯微鏡型號
目前支持的顯微鏡型號為：
OLMPUS（奧林巴斯）：CX4 / BX41 / BX43 / BX51 / BX53
NIKON（尼康）：Ci / Ci-E / Ni
ZEISS（蔡司）：AXIO SCOPE A1
SUNNY OPTIC（舜宇光學）：CX40 / RX50
3、可選標準切片座（標準產(chǎn)品清單中不含切片座）
4、可選手動搖桿控制器
5、為了保護操作者及設備安全，廠家出廠時限制了最高速度及加速度，如有要求請咨詢廠家
6、如所使用型號未在支持的型號中，請直接咨詢廠家
7、可接受特殊定制

顯微鏡直線電機XY平臺

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