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    晶片傳送系統(tǒng)New wafer loader

    應用于半導體行業(yè):

    半導體輔助設備-工作臺-其他

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    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

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    所屬系列:半導體輔助設備-工作臺-其他

     聯(lián)盟體系共同開發(fā)的晶圓傳送系統(tǒng),可連結顯微鏡及其他制程生產(chǎn)腔體,將晶片從晶舟傳送至生產(chǎn)腔體內,過程中可提供晶圓表面及背面的巨觀檢測,同時具有notch對位的功能??纱钆?/span>SMIF系統(tǒng)使用(選配)

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