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Veeco用于 LED 生產(chǎn)的 TurboDisc EPIK 700 GaN MOCVD 系統(tǒng)

將最佳良率和最高生產(chǎn)率相結(jié)合，有效降低 LED 生產(chǎn)成本。

Veeco 獲獎(jiǎng)的 EPIK® 700 MOCVD 系統(tǒng)是 LED 行業(yè)生產(chǎn)率最高的 MOCVD 系統(tǒng)，與前幾代產(chǎn)品相比，可使每晶片的成本降低高達(dá) 20%。EPIK 700 擁有單反應(yīng)腔和雙反應(yīng)腔配置并采用突破性技術(shù)，包括新的 IsoFlange™ 中心注入流以及可在整個(gè)承載盤中提供均勻的層流和統(tǒng)一溫度曲線的 TruHeat™ 晶片線圈。這些技術(shù)創(chuàng)新保證了波長的均勻度，從而能夠進(jìn)一步提高良率。由于反應(yīng)腔容量的增大，EPIK 700 的吞吐量可比其他系統(tǒng)高出 2.5 倍。

專為批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)的 EPIK 700 可容納 31x4 英寸、12x6 英寸和 6x8 英寸的承載盤?？蛻艨梢院茌p松地從現(xiàn)有的 TurboDisc 系統(tǒng)切換到新的 Epik 700 MOCVD 平臺(tái)，從而快速啟動(dòng)高品質(zhì) LED 的生產(chǎn)。憑借 EPIK 700 MOCVD 平臺(tái)的靈活性，將來還能在此基礎(chǔ)上進(jìn)行升級(jí)和改進(jìn)，使得這個(gè)世界一流的系統(tǒng)一直保持與眾不同。

與前幾代產(chǎn)品相比，每晶片成本節(jié)省高達(dá) 20%
同類最佳的均勻度和工藝重現(xiàn)性能夠進(jìn)一步提高良率
行業(yè)生產(chǎn)率最高的反應(yīng)腔可帶來比以前反應(yīng)腔高出 2.5 倍的生產(chǎn)量
與 MaxBright™ MOCVD 相比，可通過成熟的自動(dòng)化獲得最大的產(chǎn)量、增強(qiáng)的維護(hù)便利性、更長的維護(hù)間隔以及改進(jìn)的廠房面積利用率

Veeco用于 LED 生產(chǎn)的 TurboDisc EPIK 700 GaN MOCVD 系統(tǒng)

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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