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    GJTQ-A氣浮式工件臺 成都晶普科技有限公司

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體輔助設備-工作臺-光學平臺

    產(chǎn)品品牌

    晶普

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-四川省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：晶普

    型號：

    所屬系列：半導體輔助設備-工作臺-光學平臺

    產(chǎn)品名稱：GJTQ-A氣浮式工件臺

    主要技術指標：
      XY重復定位精度：±300nm（±3σ）
      運動偏擺< 1″
      速度500mm/s
      XY向行程：150mm×150mm，250mm×250mm（可定制）
      H型結構，直線電機進行驅動
      氣浮導軌進行導向
      精密光柵進行位置檢測及反饋

    主要特點：

        GJTQ系列氣浮式工件臺從結構設計到器件選型均采用了國際最先進的設計理念和最先進的單元產(chǎn)品。在結構上采用了自主研制的無摩擦，高剛度氣浮導軌，氣浮剛度可達1000N/um以上；在單元器件上，驅動器件選用荷蘭Tecnotion直線電機，美國Parker直線電機，瑞士Maxon伺服電機, 德國PI公司壓電陶瓷等國際知名驅動產(chǎn)品，其驅動分辨力小到1nm以下，且穩(wěn)定可靠；測量器件選用奧地利RS公司高分辨力光柵，安捷倫雙頻激光干涉儀，其分辨力高達0.6nm。GJTQ系列氣浮式工件臺，從結構設計到器件選型，層層控制，保證了該系列工件臺能到達500mm/s甚至更高的運動性能和10nm的定位性能。

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